提高玻璃表面强度的材料去除模式-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ６ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ６ Ｊｕｎ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０６１２５６０９ 　 提高玻璃表面强度的材料去除模式 ， １２ １ １ 陈晓苹 ，谢京江 ，宋淑梅 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林，长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京） 摘要：为了增强玻璃质材料的表面强度，研究了表面强度变化的主要工艺阶段，根据所得表面强度值绘出了工艺变化曲 线。分析了表面强度降低的主要原因，提出了相应的解决办法。阐述了用腐蚀法去除应力集中及最大压应力增强玻璃 表面强度的理论，并分析了不同去除模式对脆性材料表面强度的影响。最后，介绍了柔性研磨方式，给出柔性研磨方式 的工艺控制条件。总结出不同非成像表面相应粗糙度基本要求，并提出了相应的加工工艺办法。实验结果表明，应用去 除速率 ／ 及磨料粒度 的柔性研磨可以得到类似抛光的表面。柔性研磨方式使表面最大压应力增大， ≤２５ ｍ ｈ ≤１５ ｍ μ μ 并能够避免危害表面强质的纵向显微裂纹产生，从而提高玻璃的表面强度。 关 键 词：玻璃质材料；表面强度；柔性研磨；表面最大压应力；表面破坏层；非成像表面粗糙度 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＱ１７１．６８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１２５６ 　　 　　 犕犪狋犲狉犻犪犾狉犲犿狅狏犪犾犿狅犱犲狊犻狀狊狋狉犲狀狋犺犲狀犻狀 犾犪狊狊狊狌狉犳犪犮犲狊 犵 犵犵 ， １２ １ １ ＣＨＥＮＸｉａｏｉｎ ，ＸＩＥＪｉｎｉａｎ ，ＳＯＮＧＳｈｕｍｅｉ ｐ ｇ ｇｊ ｇ （ ， ， １．犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犗 狋犻犮狊 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊 犵 犳 狆 狔