新型集成光杨氏干涉计传感器的研制赵书凯.pdf

第 37 卷 　第 3 期 中　国　激 　光 Vol . 37 ,No . 3 20 10 年 3 月 CHIN ES E J OU RNAL OF LAS ERS Mar ch , 20 10 　　文章编号 :(20 10) 新型集成光杨氏干涉计传感器的研制 赵书凯 　陈　方 　祁志美 ( 中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室 , 北京 100 190) μ 摘要 　利用标准光刻工艺结合钾钠离子交换技术 ,在玻璃基板上制备了一对间隔 75 m 的平行三维单模光波导通 道 。然后利用射频溅射方法在一条通道的中间区段淀积一层厚度小于 30 nm 的梯度 TiO2 薄膜 ,形成复合光波导 。 基于梯度耦合理论 ,横电基模能够低损失地穿过 TiO2 薄膜覆盖区间 ,并在该区间产生一个高强度消逝场 。因此复合 光波导可作为杨氏干涉计的敏感臂而裸露通道用作参比。线偏振氦氖激光通过棱镜耦合方式被同时输入到两通道 中, 由另一棱镜从两通道中耦合输出的光束相互重叠而产生明暗相间的空间干涉条纹 。利用可调狭缝光电探测器组 合实现了对干涉计信号的实时探测 。这种结构新颖的集成光杨氏干涉计可用于生化物质的超痕量探测 。 关键词 　集成光学 ;杨氏干涉仪 ;复合光波导 ;传感器 中图分类号 　O436 ; TP2 12 　　　文献标识码 　A 　　　doi : 10 . 3788/ CJ L 20 103703 . 0819 F a b r i c a t i o n of N ov el I n t e g r a t e d Op t i c a l Yo u n g I n t e r f e r o m et e r S e n s o r Zhao Shukai 　Ch en Fan g 　Qi Zhim ei ( St a t e Key L abor a t or y of Tr a n s d u cer Tech n ol ogy , I n st i t u t e of Elect r on ics , Ch i n ese Aca dem y of Scie n ces , Beij i n g 100 190 , Ch i n a) μ A bs t r a ct 　Tw o p ar allel t hr eedimensional singlemode channel w ave guides sp acin g of 75 m w er e p r ep ar ed on glass + + subst r at e by st andar d p hot olit hogr ap