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四探针测试技术中边缘修正的有关方法
第 卷 期 半 导 体 杂 志 年 月 四探针测试技术 中边缘修正 的有关方法 石 俊 生 孙 以 材 云 南师范大学物理 系 。。 河北工业大学 电子工程 系 摘 要 本文对 四探针测试半导体薄层 电阻关于 边缘修正计算 的各种理论 及方法 做 了总结 , 重 点描 。 述 了一 种有 限元法 这 种方法对 任意 形状 的样 品和任 意放 置探针具有 同样 简单和 计算 。 通 用 的特点 , 特别是对微 区测试 方法 的改进 以及 确 定 好 的微 区测 试结构提供 了理 论 依据 关键 词 四探 针 薄层 电阻 边 缘 修 正 有 限元 法 一 一 , , 一 , , , 引 言 , ‘ 〔〕 出四 以 在 路 和 导 器 生产 从 提 探针技术 来
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