联氨浓度对化学水浴沉积犣状牦薄膜性能的影响 - 中国表面工程.pdf

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２４ ４ Ｖｏｌ．２４ Ｎｏ．４ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１１ ８ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａｕｕｓｔ ２０１１ ｇ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１１．０４．０１２ ｊ 联氨浓度对化学水浴沉积犣狀犛薄膜性能的影响 叶亚宽，张 弓，庄大明 　 （清华大学 机械工程系，北京 １０００８４） 摘 要：利用化学水浴法（ ）在硫酸锌、氨水、联氨、硫脲的沉积体系下制备 太阳能电池的 缓冲层薄膜， ＣＢＤ ＣＩＧＳ ＺｎＳ 　 研究了联氨浓度对缓冲层 ＺｎＳ薄膜的生长过程、晶体结构及物理性能的影响。结果表明，联氨浓度能够显著影响 ＺｎＳ 薄膜的生长速度，联氨浓度越高，薄膜厚度越大，薄膜的致密性也随之提高；联氨浓度对薄膜的结晶性影响较小， 法 ＣＢＤ 制备的ＺｎＳ薄膜均为非晶薄膜；制备的ＺｎＳ薄膜有较高的透过率，禁带宽度为 ３．８５ｅＶ左右，能够使更多短波、高能量 光子透过缓冲层到达 ＣＩＧＳ吸收层，从而提高电池性能。 关键词： 薄膜；联氨浓度；化学水浴沉积（ ） ＺｎＳ ＣＢＤ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＢ４３ Ａ １００７９２８９２０１１０４００５５０５ 　　　　　 　　　　　 犈犳犳犲犮狋狊狅犳犎犱狉犪狕犻狀犲犆狅狀犮犲狀狋狉犪狋犻狅狀狅狀狋犺犲犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犣狀犛犜犺犻狀犉犻犾犿 狔 狆 犇犲狅狊犻狋犲犱犫 犆犺犲犿犻犮犪犾犅犪狋犺犇犲狅狊犻狋犻狅狀 狆 狔 狆 ， ， ＹＥＹａｋｕａｎ ＺＨＡＮＧＧｏｎ ＺＨＵＡＮＧＤａｍｉｎ ｇ ｇ （ ， ， ） ＤｅａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＴｓｉｎｈｕａＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｂｅｉｉｎ １０００８４ ｐ ｇ ｇ ｇ ｙ ｊｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋： （ ） ＴｈｅＺｎＳｔｈｉｎｆｉｌｍｗａｓｄｅｏｓｉｔｅｄｂ ＣｈｅｍｉｃａｌＢａｔｈＤｅｏｓｉｔｉｏｎ ＣＢＤ ｆｏｒｔｈｅＣＩＧＳｔｈｉｎｆｉｌｍｓｏｌａｒｃｅｌｌｓａｓｔｈｅ ｐ ｙ ｐ ｂｕｆｆｅｒｌａｅｒ．Ｔ