薄膜的性能研究-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 年 月 一 一 文章编号 一 相变光盘介 电层 一 薄膜 的性能研 究 刘 波, 阮 昊, 干福 熹 中 国科 学院上 海 光 学精 密机 械 研 究所 , 上 海 摘 要 利用 、 、 、 紫外可见光谱仪和椭偏仪等多种研究手段研究 了 一 · 一 一 , , 型 薄膜 的性能 研 究表 明 沉积态 薄膜为非 晶态 表现为层核生长 一 , , 型 结构 表面很平滑 其 中包含着大小为 、 的微小晶粒 薄膜 的透过率 比较 大 , 消光 系数很小 , 这可 以减少入射激光 能量 的损失 一 薄膜拥有 比较高 的折射率 , 能够对记录层起到很好 的保护作用 一 关 键 词 介 电层 相变光盘 中图分类号 文献标识码 引言 相 变光 盘存储技术是 年代发展起 来 的一 门新型信 息存储技 术 , 它 的原理 是 聚焦 的激光 脉 冲在 晶态膜上 写入 非 晶态记 录信 息 写人 过程 , 另一 束激光 使非 晶态退火 回到 晶态 擦 除过 程 , 利 用 非 晶态膜 与 晶态膜 之 间光 学 性质 的不 同来读 出信 息 读 出过