RFMEMS技术在毫米波探测系统中的应用-Read.PDF

维普资讯 第29卷 第8期 现 代 雷 达 VoI．29 No．8 2007年 8月 ModernRadar August2007 99 瀚 麟 ． RFMEMS技术在毫米波探测系统中的应用 张俊峰，李兴国，娄国伟 (南京理工大学毫米波光波近感技术研究所， 南京 210094) 摘【要】 微机电系统(MEMS)是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术，其研究领域已扩展到了射频(RF)与微 波领域，并有继续向毫米波频率扩展的趋势。文 中结合 RFMEMS技术研究 的必威体育精装版进展，研究了如何利用必威体育精装版的 RF MEMS技术设计毫米波探测系统，以实现毫米波探测系统的小型化 、低功耗和高性能。 【关键词】 微机电系统；毫米波；探测系统 中图分类号：TN61 文献标识码 ：A Application ofRF M EM S inM illimeter—waveSystems ． ZHANGJun—feng，LIXing-guo，LOU Guo—wei (NanjingUniversityofScienceandTechnologyMMWLW Close-sensingTechnoloyg ResearchInstitute， Nanjing210094，China) 【Abstract】 MEMS(MicroelectromechanicalSystem)technologyisanewtechniquelikeintegratedcircuits．Presently， MEMSisenteringthefieldofmicrowaveandmillimeter—wave．BasedonthelatestadvanceofMEMStechnoloyg ，thispaperfocuses onhow torealizemillimeter—wavedetectionsystem usingRFMEMStechniquetoimproveperformance，reducethepowerconsump— tionandsystem size． 【Keywords】MEMS；millimeter—wave；detectionsystem 系统微小型化器件的重要途径之一。 0 引 言 l RFMEMS技术 通常人们将30GHz～300GHz的频段称为毫米波 在 目前的技术条件下，与毫米波射频组件有关的 段，与微波相 比，由于毫米波的大气传播损耗较大，功 MEMS致动器主要有三类 ：(1)安装在 RF回路外的可 率源等关键器件发展缓慢，所以其应用远不如微波广 调谐微机械发射机、波导器件和共振器；(2)安装在 泛。近年来，随着对毫米波系统需求的增长以及一些 RF回路内的支路静电微型开关、可调谐电容器和电感 新技术的发展，使毫米波系统进入了广泛应用的新阶 器；(3)RF组件。目前第二类组件是最值得研究的领 段，这些新技术 中，尤以微波／毫米波单片集成电路