MV_RR_CNJ_0013电子能谱仪方法通则-仪器信息网.PDF

MV_RR_CNJ_0013 电子能谱仪方法通则 1. 电子能谱仪方法通则的说明 编号 JY/T 013—1996 名称 (中文) 电子能谱仪方法通则 (英文) General rules for electron spectroscopic analysis 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 黄惠忠 金永漱 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 本通则规定了电子能谱的一般表面分析方法，适用于具有X射线光 电子能谱(XPS或ESCA) 、俄歇电子能谱(AES)和二次离子质谱(SIMS)功 能的电子能谱仪。 主要技术要求 1.定义 2.方法原理 3.仪器 4.样品 5.分析步骤 6.分析结果的表述 是否分级 无 检定周期(年) 附录数目 无 出版单位 科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2. 电子能谱仪方法通则的摘要 本通则规定了电子能谱的一般表面分析方法，适用于具有X射线光电子能谱(XPS或 ESCA) 、俄歇电子能谱(AES)和二次离子质谱(SIMS)功能的电子能谱仪。 第一章 XPS和AES分析 3 定义 3.1 X射线光电子能谱 3.1.1 X射线光电子能谱 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) 一种表面分析技术，即化学分析电子能谱(Electron spectroscopy for chemical analysis， ESCA) 。通过测量在单色(或准单色)X射线照射下，材料表面所发射的光电子能谱来获取表 面化学成分、化学态、分子结构等方面的信息。 3.1.2 特征X射线 Characteristic X －rays 电离原子发射的光子。它具有特定的能量分布以及该原子化学环境和原子序数的强度特 征。 3.1.3 结合能 Binding energy 将电子从给定的电子能级移到参照能级，如费米能级(固体)或真空能级(气体) ，所必须 消耗的功。 3.1.4 峰宽 Peak width ，FWHM 背底以上峰高一半处与基线平行的峰宽度。 3.1.5 化学位移 Chemical shift 因原子的化学环境改变而引起的光电子峰能的变化。 3.1.6 功函数 Work function 将一个电子从样品的费米能级移到真空能级克服势垒所必须消耗的功。 3.1.7 俄歇参数 Auger parameter 一定能量的光子辐照下，能谱中最强的俄歇峰的动能减去同一元素最强光电子峰的动 能。可用于鉴别元素的化学态。 3.1.8 修正的俄歇参数 Modified Auger parameter 俄歇参数加光子能量。它等于最强俄歇峰的动能加上同一元素最强光电子峰的结合能。 3.1.9 光电发射 Photoemission 因光电效应引起的原子或分子的电子发射。 3.1.10 光电截面 Photoelectric cross －section 射入材料的光子从给定能级产生一个光电子的几率，以每单位事件的面积表示。 3.1.11 荷电参照(线) Charge reference 样品组分或外加元素的标准谱线能量。可用来校正稳态荷电效应。 3.1.12 碳内标法 Internal carbon referencing 将实验测得的样品