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太赫兹量子级联激光器材料生长及表征! - 物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $% # ##L # ， ， ， ;H5 =$% XH = # Y2’HZ() ##L （ ） ###1CL#P##LP$% # PB#%C1#$ O96O V7WSQ9O SQXQ9O !##L 9+G/ = V+[3 = SH2 = 太赫兹量子级联激光器材料生长及表征! 常 俊 黎 华 韩英军 谭智勇 曹俊诚! （中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室，上海 ###$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% # % ##% % 采用气态源分子束外延方法生长了束缚态到连续态跃迁太赫兹量子级联激光器（ ’()*+()’, -.*/’.012*32*4( 5*3()，简称 ）有源区结构，并且采用电化学 仪、霍尔测试仪以及高分辨 射线衍射对材料的质量进行表 67, 89: 9; 征，得出 有源区具有很高的晶体质量 另外，采用蒙特卡罗方法模拟了共振声子 器件的 曲线， 67, 89: = 67, 89: !1 分析了在不同偏压下子能级的对齐状况和电子的输运特征= 关键词：太赫兹，量子级联激光器，分子束外延， 射线衍射 ： ， ， ， !## #? %#@ %$7 %%#A 89: 有源区的研究工作正在开展，其中大部分是通 J 引 言 过分子束外延技术和金属有机化学气相沉积方法来 生长有源区结构= ［— ］ C 太赫兹（ 简称 ）波 是指频率在 ’()*+()’, 67, C## K7,—# 67,，介于微波和红外光之间的电磁 J 实 验 波 技术在材料表征、医学诊断、环境检测、 = 67, 67, 成像、宽带无线通信以及短距离无线必威体育官网网址通信等领 高质量的89: 有源区材料是实现大功率、高工 域都有广泛的应用前景= 67, 辐射源是67, 技术应 作温度和低阈值电流密度 89: 器件的的基础= 89: 用的关键器件 基于多量子阱级联结构的太赫兹量 器件要求各层材料的组分、厚度和界面达到原子可 = 子级联激光器（
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