VO2（M／R）复合薄膜的研究进展.pdfVIP

· 42 · 材料导报A：综述篇 2012年 2月(上)第26卷第 2期 VO2(M ／R)复合薄膜 的研究进展 周石山，杨修春 ，董琰峰 ，王青尧 (同济大学材料科学与工程学院，上海 200092) 摘要 V((M ／R)薄膜相变前后的红外透过率、电阻率变化显著，在光学、电学开关等领域极具应用潜力。 v()(M／R)复舍薄膜能克服纯相材料本身的不足，还可以引入新的性能和结构。综述 了VO2(M ／R)复合薄膜的特点 和主要性能，总结 了薄膜的复合方式，讨论 了复合薄膜制备中存在的问题，并结合近年的相变机理、制备工艺、复合方 式等报道展望了V((M／R)复合薄膜的研究发展前景。 关键词 二氧化钒 复合薄膜 相变 ProgressinStudyofVO2(M ／R)CompositeFilms ZHOU Shishan，YANGXiuchun，DONGYanfeng，WANGQingyao (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，TonNiUniversity，Shanghai200092) Abstract VO2(M ／R)filmhasasignificantchangeofIRtransmittanceandresistancewithapotentialapplica tioninopticalandelectricalswitching．V()2(M ／R)compositefilmscouldnotonlymakeupthelimitationsofpureM— phaseV( ，butalsointroducesomenovelperformancesandstructures．Theadvantagesandmainperformancesof V()2(M ／R)compositefilmsarereviewed．Thecompoundtypesaresummarized．Andtheprimaryproblemsofexis tenceintheresearchofcompositefilmsarepointedout．Attheend，basedontherecentreportson preparationme- thods，compoundtypesandphas-etransitionmechanism ofv()2thinfilms，furtherresearchesofV( (M ／R)compo— sitefilmsareprospected． Keywords V()2，compositefilms，phas-etransition 钒 的氧化物稳定相 多达 15～2O种 ，如 V()。、VO (3)热滞 回线太宽等 。最近有研究 【j采用聚合物辅助沉积 V ()，其中V【)有 A、B、M、R4种类型，M ／R型 VO 是唯 法 ，在前驱体 中加入 PVP，沉积 一系列在可见近红外波段 一 能在室温附近发生完全可逆相变的氧化物，即处在转变温 具有较高透过率、薄膜形态可控的V()复合薄膜 (见图1)， 度 (T≈68℃)时，其结构在约 10 S内发生由低温的半导体 其中PVP具有辅助成膜、促进 M相生成等作用 。V()复合 相(M 型)向高温的金属相 (R型)的可逆转变，并伴随电学、 薄膜在一定程度上克服了纯 V()本身的不足，还能通过引入 光学、磁学等性质的变化，可应用于智能窗薄膜、光学和电学 新相优化制备工艺，改善薄膜质量 ，获得优异的光电性能。 开关材料等 ’，具有极大 的发展潜力和社会经济价值。为 2 VO2复合薄膜的主要性能 改善V()。(M／R)(以下简称VO)薄膜的质量和光电性能，引 入新相制备V()。复合薄膜已成为近年研究的热点。本文就