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SiR薄膜的制备及力敏特性研究

年第 期( )卷 11098 2015 11 46 文章编号: ( ) 1001G9731201511G11098G05 纳米级FeNi粉体/SiR薄膜的制备及力敏特性研究∗ , 赵 辉 朱正吼   ( , ) 南昌大学 材料科学与工程学院 南昌 330031 : , ( ) , 摘 要 以 的 粉体为应力敏感 肼 置于强碱性 值 条件下 采用液态化学还     60~100nm FeNi pH ≈14 、 , 、 ; 元 硅橡胶为柔性基体 压制成型了粉体分布均匀 粉 原法制备纳米级 FeNi粉体 制备过程中由于 FeNi粉 ( )、 , , # , 体含量 30.6% 质量分数 厚度 200 m的薄膜 在连 体处于水溶液中 而水和 107 液体硅橡胶不相容 故 μ / / 、 , 续加载 卸载速度为0.1mm min测试频率 1kHz条 为确保 FeNi粉体均匀分散在硅橡胶中 所以先将 FeG # , , 件下 研究了正应力和综合应力两种受力条件下薄膜 Ni粉过渡到 107 液体硅橡胶稀释剂或者溶剂中 然 # . , , , . 的力敏特性 研究结果表明 通过过渡溶剂液相混合 后与 107液体硅橡胶混合 加入固化剂 搅拌均匀 ; 方法可实现纳米级 FeNi粉体在薄膜中均匀分布 在正 将厚度为 25 m的铝箔平铺在面积为 150mm× μ # , , 应力条件下 加载过程中 时 薄膜的灵敏 , σ<0.2MPa 100mm玻璃板上 将混合均匀后的 FeNi粉和 107 精度 值 ,当 为 , 值介于 , |k| >50 σ 0.2~0.4MPa|k|

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