微波放电氢等离子体的特性诊断和分析-华南师范大学学报.PDFVIP

华南师范大学学报 (自然科学版 ) 2008年 8月 JOURNAL OF SOU TH CH INA NORMAL UN IV ER SITY 2008年第 3期 　　　　　　　 A ug. 2008　　　　　　　　　 (NA TURAL SC IENCE ED ITION ) 　No. 3, 2008 文章编号 : 1000 - 5463 (2008) 03 - 0066 - 05 微波放电氢等离子体的特性诊断和分析 杨春林 , 陈俊芳 , 符斯列 , 史 　磊 , 张洪宾 , 黄孟祥 , 赖秀琼 (华南师范大学物理与电信工程学院 ,广东广州 51063 1) 摘要 :在微波等离子化学气相沉积装置中 ,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与 气压和功率的关系 ,还分析了 Hα ( 6563 nm ) 的峰值强度与气压和功率的关系 ,得到了微波放电氢等 离子体内部的基本特性. 关键词 : L angm u ir探针 ; 等离子体密度 ; 发射光谱 ; Hα 中图分类号 : TL65　　　文献标识码 : A THE CHA RAC TER IST IC A NALY S IS A ND D IA GNO S IS O F HYD RO GE PLA SM A UND ER M ICROW A VE D ISCHA RGE YAN G Chun - lin, CHEN Jun - fang , FU Si - lie, SH I L ei, ZHAN G Hong - b in, HUAN G M eng - xiang, LA I X iu - qiong ( School of Physic s and Telecommun ication s Engineering, Sou th Ch ina Norm al Un iversity, Guangzhou 51063 1, Ch ina) A b stract : The den sity distribu tion and the relation sh ip between the p la sm a den sity w ith differen t p re ssu re and power were ob tained in a m icrowave p la sm a vapor depo sition reactor. The relation sh ip between the in ten sity of Hα ( 6563 nm ) p eak w ith differen t p re ssu re and power were also analyzed. Thu s the ba sic characteristic of hydrogen p la sm a under m icro wave d ischarge wa s gained. Key words : langm u ir p robe; p la sm a p aram eter; em ission sp ectrum ; Hα 　　等离子体是物质在高温或特定激励下的一种状态 ,是除固态 、液态和气态以外 ,物质的第 四态. 它是由大量正负带电粒子和中性粒子组成 ,并表现出集体行为的一种准中性气体. 研究 人员对等离子体的特性进行了大量的理论和实验研究[ 1 - 2 ] . 等离子体诊断方法分为接触法和 非接触法 2 大类. 接触法包括 L angm u ir探针法 、阻