形光刻掩模板的研制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精 密工程 , 年 月 , 动态 目标发生器 圆鼓 图 形光刻掩模板 的研制 ’ 付永启 刘怀道 , 中国科学院长春光学精密机械研 究所 长春 。。 , , 南京光学仪器厂 南京 细论述 了动态 目 发生器 圆 图 光学 划 板 设 思 及 摘要 本文详 标 鼓 形 刻 掩模 的 计 想 其 , 良 制作过程 经试刻效果 好 为非球面光刻掩模板 的制 作开创 了一条 新途径 目 , , , 关键词 动态 标发生器 图鼓 图形 光 学刻划 掩模板 启台 咭 卜 月 互 三 动态 目标发 生器 圆鼓 是检 验 大 口 径相机透镜动态分辨 率装置 的核 心部件 , 该 圆鼓要求将 号鉴别率板 图形 用光学刻划 的手段 刻制到直 径 、 厚 的圆鼓侧面 周边上 此 圆鼓 图 划 国 属 , 国 上 见 , 一 定 形 的光学刻 在 内尚 首次研制 类似 的技术在 外刊物 也未 报道 具有 的技术难 。 度 由于整个 圆鼓 周边 由近 二百个 图案组成 , 采 用 常规 的接触式 曝光 因其 易损伤刻划胶面 的缺 点很难完成 二 百个 图案 的顺 利刻划 故决定采用接近 式光 刻法 , 该方 法 不 损伤刻划 胶 面 , 而 且 、 。 能实现连续刻 划 速度 快 但是 , 通 常 的掩 模板都为一平面 , 而被刻 圆鼓侧 面 为 圆柱 面 , 若直接 此