石英ガラス技術ガイド‐1.PDFVIP

石英ガラス技術ガイド‐1 石英ガラスの化学的、物理的特性 石英ガラスは、一般のガラスに比べ、非常に高い純度と物理的な安定性を持っており、半導体製 造装置の容器や管などの治具類に、また理化学用の器具などに広く利用されています。 「石英ガラス技術ガイド-1」では、石英ガラスが持つ、化学的、物理的な特性について紹介します。 石英ガラス技術ガイド‐1 石英ガラスの化学的、物理的特性 目 次 ページ 1. 化学的純度 2 2. 耐熱形状安定性 3 3. 結晶化 3 4. 機械的性質 4 5. 熱的性質 6 6. 粘度 7 7. 熱膨張 7 8. 熱衝撃耐力 9 9. 比熱 9 10. 熱伝導率 9 11. 気体透過性 10 12. 拡散係数 10 13. 電気的性質 11 14. 化学的安定性 12 15. 石英ガラスの洗浄 14 問い合わせ先、事業所、関連会社住所録 15 - 1 - 技術ガイド化学物理特性　PC-TG-CFC-006 1. 化学的純度 石英ガラスは、非常に高い純度をもっています。金属不純物の総量は、合成石英ガラスでは1ppm以下、透明石英 ガラスではおよそ20ppmです。 不純物量が分析の検出限界に近いため、正確な分析は極めて難しく、専門的な分析技術を必要とします。天然原 料を使用する石英ガラスでは、原料純度の変動が、不純物量のばらつきの主たる要因ですが、信越石英では、厳選 された原料を高度の精製技術で安定的に高純度を維持しています。石英ガラスの製造および後加工工程では汚染 を起こさぬように万全の注意を払っていますが、製品の保管時などにおこるわずかな表面汚染でも、失透等の問題 を起こすことがありますので注意が必要です。 化学分析、分光分析、および放射化分析による分析結果を表1に示します。 表1　石英ガラス中の不純物（ppm） 元素 透明石英ガラス 合成石英ガラス Al 5～20 ＜0.1 B ＜0.1 ＜0.01 Au 0.0003 n.d. Fe 0.1～1.0 ＜0.1 K 0.1～0.5 ＜0.01 Ca 0.2～1.0 ＜0.01 Cu ＜0.1 ＜0.01 Li ＜1.0 ＜0.01 Na ＜1.0 ＜0.02 P 0.1 ＜0.1 Ti 1～2 ＜0.1 n.d.：測定せず。 表2　主要材質の純度分析値 分類 品種名 金属不純物 （ppm) OH基