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2017-06-15 发布于江苏
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PDMS之成型介紹PDMS 矽氧樹脂亦稱為矽酮（polymerized siloxanes或polysiloxanes），是一個介於有機與無機的聚合物。熱穩定性 (在–100 to 250°C間能保持穩定性質) 。彈性、低化學活性、無毒。 PDMS成型選用520μm厚度之silicon wafer塗佈一層負型光阻(SU-8)80 μm厚度 PDMS成型曝光後可呈現出微流管道。 PDMS成型 A＆B Solution (Dow Corning)以10：1混合倒進模具內。放置室溫下24小時可分離PDMS與Si Wafer。 PDMS成型如欲成型Inlet＆Outlet Tube可用機械鑽孔機成型。 PDMS ＆ GLASS BONDING 因PDMS表面有著疏水性，可利用OXYGEN PLASMA使PDMS表面成親水性。 PDMS ＆GLASS可利用RIE系統通氧氣(25SCCM) ，操作壓力200mTorr 、功率100W 執行30秒。