柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究.pdf

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2017-05-29 发布于浙江
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柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究

36 1 Vol.36, No.1 2007 1 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING January 2007 ITO 1 1 1 1 2 (1. 100083) (2. 621900) ITO X - ITO ITO 85.6%6 Ω/ □ ITO TG174.444 A 1002-185X(2007)01-0086-05 ITO(Indium Tin Oxide) DX-1000 n In3O2 : SnO2 ITO (3.5 eV~4.3 eV) (90:10)(%)900 mm 100 mm6 mm 25 cm Ar(99.999%)/O2 (99.999%) ITO (50 µm) (45 cm 45 cm) 1 ITO 5.0×10-3 Pa Ar /O2 [1,2] () Vaccum sputtering chamber Metal cylinder Diffusion pump [3] ITO Substrate Mechnical Cooling water pump [4] DC supply Gass mixing ITO chamber