喷雾热解法制备掺氟氧化锡导电玻璃及其性能.pdf

第16卷第2期 功能材料与器件学报 V01．16，No．2 OFFUNCTl0NALMATERIALSANDDEVICES 2010年4月 JOURNAL Apr．，2010 文章编号：1007—4252(2010)02—0191—06 喷雾热解法制备掺氟氧化锡导电玻璃及其性能 张志海1，史成武1”，孙嵩泉2…，吴玉程1 (1．合肥工业大学材料科学与工程学院，合肥230009； 2．蚌埠市建设投资有限公司博士后工作站，蚌埠233000； 3．蚌埠市普乐新能源有限公司，蚌埠233030) 摘要：采用喷雾热解法，以四氯化锡和氟化铵为原料、喷瓶为雾化装置，在载玻片上制得氟掺杂二氧 化锡(fro)透明导电薄膜。运用XRD、SEM、紫外一可见分光光度计和四探针测试仪分别对薄膜进 行了表征。研究了喷涂次数、衬底温度、前体浓度、掺杂浓度和醇水比对FIO薄膜光电性能的影 mol／L，NH。F浓度为0．1mol／L，醇 响。结果表明，当衬底温度为500℃，SnCI。·5H：O浓度为0．81 水比为8：2，喷涂100次时，薄膜的光电性能较好，其方块电阻为13[1／口，平均透光率为79％。 关键词：喷雾热解；二氧化锡；氟掺杂；导电玻璃 中图分类号：0484文献标识码：A andcharacterizationof tinoxide Preparation fluorine—-doped conductive glassdepositedbyspraypyrolysis ZHANG Zhi．hall，SHI Song—quan23，WUYu．chen91 Cheng—WUl2，SUN ofMaterialsScienceand of (1．School Engineering，HefeiUniversityTechnology， Hefei Research 230009，China；2．PostdoctoralWorkstation，Bengbu ConstructionInvestment Photovoltaics Co．Ltd，Bengbu233000，China；3．P0lar Co．Ltd，Bengbu233030，China) of havebeen thinfilms onto F：Sn02 deposited microscopic Abstract：Transparentconducting preheated slides stannic intermittent glass by spraypyrolysisdepositionusingpentahydrate andammonium