B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响.pdfVIP

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2017-05-16 发布于河南
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B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响

学兔兔第 18卷第5{』粉末冶金材料科学与工程 2013年10，j V01．18NO5 M ateria1s Science andEngineeringofPowderM etallurgy ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．。．．．．．．．．．．．。．．．． — — — — — — B靶功率对ZrBN复合膜的徽结构、力学性能及摩擦性能的影响喻利花，赵强，马冰洋，许俊华 (江苏科技大学材料科学与工程学院，镇江 212003) 摘要：采片j磁控溅射法，以小的B靶功率(分别为24，30，60，90和 120w)，在单晶硅f】0O)和锈钢基底制系列不问B含量的ZrBN复合膜，利用扫描电镜、能谱仪、x射线衍射仪、纳米痕仪(csM)和摩擦磨损试验机研究B靶功牢对ZrBN复合膜的微结构、力学性能、以及室温和高温摩擦性能的影响。结果表明：当B 靶助牢低r30W 时，复合膜呈fccZrBN结构；当B靶功率高-I30W 时，复合膜为fccZrBN和hcpZrB，双丰H结构。 B靶功率为24W 时，复合膜的硬度和室温摩擦因数分别为29．3GPa和0．75，随B靶功率增火，硬度和室温摩擦数都逐渐减小。B靶功率为24W 时制备的ZrBN复合膜的摩擦因数随温度升高先减小后增大。时，对 ZrBN复合膜的摩擦机理进行探讨。关键词：ZrBN复合膜；微结构；力学性能；摩擦性能中图分类号：TGI74．44 文献标识码：A 文章编号：1673—0224(2013)5—748．06 EffectofB targetpoweronmicrostructure，mechanicalproperties andfrictionpropertiesofZrBN compositefilms YULi—hua，ZHAOQiang，MABing-yang，XUJun—hua (SchoolofMaterialScienceandEngineering，JiangsuUniversityofScienceandTechnology，Zhenjiang212003，China) Abstract：ZrBNcompositefilmswithdifferentBcontentswerepreparedonwafersofsilicon(1oo)andstainlesssteelby reactivemagnetronsputteringtechniqu