立方氮化硼薄膜的制备与表征 - 复旦大学物理教学实验中心 ....docVIP

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2017-05-06 发布于天津
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立方氮化硼薄膜的制备与表征薄膜物理技术在基础研究和应用研究两方面都有很重要的意义因为各种材料的薄膜两维体系往往都表现出与其体材料三维体系不同的性质实际中的很多应用如光学薄膜各种保护膜等往往只对材料表面的性质有要求通过镀膜即可实现薄膜物理技术的研究对象是薄膜衬底和它们之间的界面主要内容包括能满足特定需要的镀膜设备的构建镀膜过程的控制和薄膜性能的表征等立方氮化硼是硬度仅次于金刚石的超硬材料因其特殊的物理化学性能有非常广泛的应用前景近年来人们对立方氮化硼薄膜进行了大量的深入研究也取得了不少可喜的进展但

立方氮化硼薄膜的制备与表征薄膜物理/技术在基础研究和应用研究两方面都有很重要的意义，因为：1）各种材料的薄膜（两维体系）往往都表现出与其体材料（三维体系）不同的性质；2）实际中的很多应用（如光学薄膜、各种保护膜等）往往只对材料表面的性质有要求（通过镀膜即可实现）。薄膜物理/技术的研究对象是薄膜、衬底和它们之间的界面，主要内容包括能满足特定需要的镀膜设备的构建、镀膜过程的控制和薄膜性能的表征等。立方氮化硼是硬度仅次于金刚石的超硬材料，因其特殊的物理化学性能，有非常广泛的应用前景。近年来，人们对立方氮化硼薄膜进行了大量的深入研究，也取得了不少可喜的进展；但由于薄膜的稳定性等原因，人们期盼的