材料测试第二章4.ppt

第四节 电子探针X射线显微分析（EPMA） ; 图10-17 电子探针结构示意图 ;一、能谱仪 ;以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。(/s?cl=3wd=Si%28Li%29X%C9%E4%CF%DF%C4%DC%C6%D7%D2%C7) 图10-19 Si(Li)X射线能谱仪 ;Si(Li)能谱仪的优点： ;(可达104cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。此外，能谱仪可在低入射电子束流(10-11A)条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。 (3)谱线重复性好。由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。 ;能谱仪的缺点： ;(2)工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至完全被破坏。 ;二、波谱仪 ;波谱仪的特点：; (a)能谱曲线；　　　　(b)波谱曲线;电子探针分析的基本工作方式 ;下图给出了ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体定点成分分析结果，可见析出相（t相）Y2O3含量低，而基体(c相)Y2O3含量高，这和相图是相符合的。 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体的定点分析(图中数字为Y2O3mol%) ;下图给出BaF2晶界线扫描分析的例子，图(a)为BaF2晶界的形貌像和线扫描分析的位置，图(b)为O和Ba元素沿图(a)直线位置上的分布，可见在晶界上有O的偏聚。 BaF2晶界的线扫描分析 (a)形貌像及扫描线位置；(b)O及Ba元素在扫描线位置上的分布 ;Preparation of nanotube-shaped TiO2 powder