X射线荧光光谱在离子浓度和镀层厚度测量中应用.docVIP

郑州大学毕业设计（论文） 题 目： X射线荧光光谱在离子浓度和镀层金属厚度 测量中的应用 指导教师： 赵书俊 职称： 教授 学生姓名： 陈梁 学号： 20082250202 专 业： 电子信息科学与技术 院（系）： 物理工程学院 完成时间： 2012年5月 22日 2012 年 5 月 22 日 目录 摘要 1 Abstract 2 第一章 绪论 3 1.1 概 述 3 1.2我国X射线荧光光谱分析发展现状 4 1.3本论文的主要工作简介 5 第二章 X射线荧光光谱法测量原理 7 第三章 XRF测镀层溶液离子浓度 9 3.1 实验部分 9 3.1.1 主要仪器设备 9 3.1.2 载流管材料实验 9 3.1.3 载流装置 9 3.1.4 测量条件 10 3.1.5 标准曲线 10 3.2 结果与讨论 10 3.2.1 准确度 10 3.2.2 精密度 11 3.2.3 讨论 11 第四章 XRF测镀层金属厚度 12 4.1 在镀层膜厚度测量中应用X射线荧光光谱分析的原理 12 4.1.1 发射法 12 4.1.2 吸收法 13 4.1.3 发射—透射法 15 4.1.4 透射法 16 4.1.5 吸收校正法 16 4.1.6 基本参数法——组成和厚度同时测定 18 4.1.7 其他方法 20 4.1.8 小结 21 4.2 X射线荧光谱仪结构和性能及数据分析 21 4.2.1介绍 22 4.2.2 校准 23 4.2.3 选择光束大小 23 4.2.4 样品定位 23 4.2.5 实验结果及讨论 24 4.2.6 结论 26 第五章 XRF实践应用中影响因素分析及校正 27 5.1 XRF实践应用中影响因素分析 27 5.1.1 有效照射面积 27 5.1.2 试样厚度影响 27 5.1.3 试样紧密度与颗粒度影响 28 5.1.4 材料形状影响 28 5.1.5 测定时间影响 29 5.2 基材效应及解决方法 29 第六章 总结 32 致谢 33 参考文献 34 附件 35 摘要 金属镀层的应用在现代化工业生产中已经非常普遍，镀层溶液离子浓度，镀层金属厚度的测量随之也成为一个很重要的问题，XRF以其快捷性，高效性，准确性和非破坏性已经广泛应用在该测量领域。 本论文基于X射线荧光光谱的基础理论，简要分析了能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理以及在镀层溶液离子浓度和镀层厚度测量中的应用技术。通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量，在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下，通过评估测量中各种不确定度来源和大小，通过参数拟合及各种方法总结出校准标准片在不确定度中所起的主导作用，为实际测量应用中提高精度提供了理论基础。 关键词：X-ray原理 ，镀层溶液离子浓度，镀层金属厚度，不确定度，校准 Abstract The application of metal coatings is very common in modern industrial production, the coating solution ion concentration, plating metal thickness measurement followed a very important issue, the X-ray and its speed, efficiency, accuracy and non-destructive has been widely used in the measurement field. This thesis is based on the basic theory of X-ray fluorescence spectroscopy, a brief analysis of energy dispersive X-ray fluorescence spectrometric method works as well as in coating thickness