刻蚀机操作培训之二软件操作.pptVIP

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2016-12-13 发布于北京
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刻蚀机操作培训之二软件操作.ppt

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目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理软件功能介绍软件系统实现以下功能: 向用户提供友好的人机操作界面; 自动运行工艺，实现托盘的智能调度，以提高LED设备产率; 工艺配方管理，提供配方的上传、下载、确认、恢复以及存储等功能; 设备控制; 数据管理，提供工艺过程参数曲线实时显示、历史数据查询、导出等功能报警处理; 日志管理，权限管理; 目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理软件模式介绍系统模式介绍软件系统定义两种操作模式，分别为自动模式与手动模式。系统在自动模式下可进行自动任务、配方编辑、数据监控等操作。在手动模式下可以进行手动任务、漏率检测、校准、机台故障处理等操作。模式切换条件系统切换至手动模式条件机台当前没有正在执行的任务机台各模块当前没有正在执行动作系统当前没有未处理的阻塞性报警工艺过程中机台抛出三级告警，系统自动切换至手动模式系统切换至自动模式条件机台当前没有未处理的报警机台各模块当前没有正在执行动作工艺腔室和机械手中没有托盘存在机台各模块在Standby状态或执行“加电初始化”操作成功后目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理用户权限说明软件赋予每个用户一个角色，每种角色拥有一定的权限。用户只能在权限范围内执行操作。用户角色划分表目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理软件启动介绍软件系统启动注意事项: 确认设备已经加电(前面板“电源”绿灯亮); 登录下位机 linux系统（向NMC工程师确认用户名和密码）; 登录上位机 windows系统（向NMC工程师确认用户名和密码）; 软件启动介绍目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理软件界面介绍---主界面软件界面介绍---初始化界面提供机台加电后的初始化操作。初始化成功后，系统可切换到自动模式。提供片盒腔充大气操作。以方便取出或放入片盒。手动模式下MA，EE操作。软件界面介绍---监控页面实时监控工艺模块状态自动、手动模式下均可查看软件界面介绍---工艺配方工艺配方的编辑、导入、导出等操作自动或手动模式下EE操作软件界面介绍---片盒配方片盒配方编辑操作每片托盘可定义片前、工艺、片后共3种工艺配方自动或手动模式下EE操作托盘颜色指示工艺状态未工艺工艺中工艺结束工艺中止未知软件界面介绍---手动操作模块操作：复位、维护、关闭操作充、抽传输腔室手动加载、卸载片盒手动传片：用于自动任务中断后的取片或工艺调试手动工艺：可以选择工艺配方后，手动执行工艺手动模式下EE操作软件界面介绍---托盘同步可手动设置模块中托盘状态，点击“与系统记录同步”按钮，常用于模拟或测试目的当软件重启后，如出现设备实际的托盘位置与系统记录的位置不一致时，可点击“与设备记录同步”按钮，使二者保持一致手动模式下EE、PE操作软件界面介绍---腔室监控设备日常维护操作：包括本底压力检测、腔室、气柜漏率检测、气路校准操作手动模式下MA、EE操作软件界面介绍---维护数据设备日常维护操作：设备使用寿命维护手动模式下EE操作软件界面介绍---实时数据工艺过程中工艺参数曲线实时绘制自动、手动模式下MA、EE操作软件界面介绍---工艺数据记录所有执行过的手动、自动任务信息手动、自动模式下MA、EE操作软件界面介绍---历史数据记录所有手动、自动任务的工艺参数信息提供工艺参数查询、导出操作手动模式下EE操作软件界面介绍---系统日志记录系统日志，提供查询操作手动模式下MA、EE操作软件界面介绍---报警处理报警信息显示、提供报警处理操作自动、手动模式下MA、PE、EE操作软件界面介绍---报警查询报警查询操作自动、手动模式下MA、EE操作软件界面介绍---用户管理添加、删除用户、修改用户密码、角色等操作手动模式下系统管理员操作目录软件功能介绍软件模式介绍软件用户介绍软件启动介绍软件界面介绍常见问题处理报警信息报警级别： Level 1：最低级别的报警，PROBLEM。用于向用户提示机台内部存在某些不正常因素，但不影响机台的正常工作。 Level 2:：中等级别的报警