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化学机械平坦化抛光液.doc.doc
海外技术合作支援业务的Technology Sales Kit ?????????????????????????????????? 技术名称:化学机械平坦化抛光液 企业名称: ACE高科技株式会社 公司名称 一.出口范围及合作形式 1.技术名称 化学机械平坦化抛光液 2.技术的简介 利用泥浆存储器商品出口 二.企业介绍 1.代表董事:张 正 洙 2.企业获奖情况 1)指定为风险企业(风险资本投资企业) 2)获得ISO9002认证(2003年变更,获得ISO9001) 3)指定为风险企业(技术评估优秀企业) 4)产业资源部选定为零部件材料专业企业 5)选定为京畿道有前途中小企业 6)定为韩国产业银行有前途中小企业 7)2004. 12:500个高速增长企业(Deloitte公司选定) 3.企业的简介 公司名ACE高科技株式会社 代表人 成立日期 19939月 行业 制造 主要产品 三.技术概要及特征 1.技术概要及技术的必要性 1)技术概要 2.技术特征、优点及竞争力 1)技术特征、优点 目前,利用最为广泛的氧化物化学机械平坦化泥浆煅制二氧化硅 粉末煅制二氧化硅溶-凝法胶体氧化硅煅制二氧化硅化学机械平坦化泥浆二150nm~500nm左右,比胶体氧化硅30nm~100nm粗而粗糙,因此预计很难应用于1G DRAM以上的半导体中。 本公司有如下优势,除了极少一部分的添加剂外,所有的原、辅材料都可以轻易地采购使用,而且使用的原、辅材料都不是只有国内限定企业才可以供应的产品,而是可以轻易采购的素材。 本公司的泥浆煅制二氧化硅胶体氧化硅泥浆胶体氧化硅 3个月之后 6个月之后 3个月之后 6个月之后 ACE高科技胶体泥浆 泥浆 泥浆泥浆 四.技术(产品)的国内外市场规模及前景 1980年末,报道了美国IBM对实现广域平坦化的研磨技术领域进行研究的结果,成功完成了依据化学机械平坦化(Chemical mechanical Planarization)装置装置化学机械平坦化泥浆Cabot为52%,其次是Rodel为20%,其余是EKC、富士美拜耳日化学机械平坦化泥浆泥浆氧化物化学机械平坦化泥浆Cabot以60%以上的市场占有率独守垄断性市场地位,最近,伴随半导体元件企业的政策,国内开始出现了一些开发化学机械平坦化泥浆化学机械平坦化泥浆 【国内化学机械平坦化泥浆 区 分 ACE高科技 韩华石油化学 东振semichem(株) 第一毛织 粒子类型 胶体氧化硅 煅制二氧化硅 煅制二氧化硅 煅制二氧化硅 ILD ◎ ◎ ◎ STI工程 ○ × × × 硅片平坦化 ◎ × × × (◎:,:,:) 一般小而均匀,保留球形粒子特性的胶体氧化硅煅制二氧化硅化学机械平坦化煅制二氧化硅胶体氧化硅化学机械平坦化泥浆煅制二氧化硅胶体氧化硅煅制二氧化硅Fab工程的特殊性,各个客户的要求都有所不同,因此掌握客户的技术特征,迅速开发多种新产品是半导体企业占领竞争优势的最重要因素。 (a) (b) 化学机械平坦化 (a) 根据研磨粒子种类的泥浆市场规模 (b) 根据泥浆种类的世界市场 与韩国国内外竞争技术的比较 分 类 公司名称 拥有技术(产品)名称 与本公司技术(产品)的比较 韩国国内 竞争公司 1. 第一毛织 煅制二氧化硅 营销优势(三星Family) 韩国国内 竞争公司 2. 东振semichem 煅制二氧化硅 营销优势,价格高 韩国国内 竞争公司 3. 韩华石油化学 煅制二氧化硅 营销优势,价格高 海外 竞争公司 1. Cabot 煅制二氧化硅 营销、品质优势,价格高 海外 竞争公司 2. 拜耳 营销、技术优势,价格高 海外 竞争公司 3. 杜邦 胶体氧化硅 营销、技术优势,价格高 五、进入中国市场的必要信息 1.中国市场内的技术定义及进入屏障 1)评估对象技术/产品的定义、范围、用途等分析 定义: 所谓化学机械平坦化工程是利用泥浆存储器装置化学机械平坦化(存储器:氧化物化学机械平坦化泥浆,存储器:Matal化学机械平坦化泥浆 + 氧化物化学机械平坦化泥浆)本项目将会是第一家抛光液供应厂从市场前景看,及台湾地区、韩国和新加坡IC业界已开始逐步应用CMP技术,尤其是氧化物介质的CMP技术加工,CMP抛光液在我国及周边市场的发展潜力很大考虑就近供应及运送成本、条件等因素,将在中国大陆、台湾地区及东南亚区域具有较强的市场竞争力。煅制二氧化硅胶体氧化硅二氧化硅胶体氧化硅1G DRAM以上的半导体制造),可长期保存(超过一年),且不含对环境有害的物质,技术上具有先进性。经过专家分析比较,与国际players如美国Rodel On
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