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◆测量系统的变动要素（１） ?测量器偏差（位置变动）① 　　　?偏差 　　　　?测量值的　　　值和　　　值的差。 　　　?稳定性 　　　　?同一个测量者留出一定　　　间隔使用同样的测量器测试同一产品的同一特性时测量值的平均值差。 　　　　　 　　　 　也可以说是（　　　）。 　　　值 测量值 的分布 测量值 的　　　. 偏差 　　　　　的 分布中心 稳定性 　　　　　的 分布中心 问题 ◆测量系统的变动要素（１） ?测量器偏差（位置的变动）① 　　　?偏差 　　　　?测量值的平均值和基准值的差。 　　　?稳定性 　　　　?同一个测量者留出一定时间间隔使用同样的测量器测试同一产品的同一特性时测量值的平均值差。 　　　　　 　　　 　也可以说是位移（drift）。 基准值 测量值 的分布 测量值 的平均.　　　 偏差 時间t1的 分布中心 稳定性 時间t2的 分布中心 解答 ◆测量系统的变动要素（２） ?测量器偏差（位置的变动）② 　　?直线性 　　　?涵盖了测量器使用（测量）范围整体的 　　　　 偏差变化。 基准线 测量值 直线性 测量范围 偏差 （正确性） 测量数据偏差 反复性 测量器 引起的偏差 测量者（测量器） 引起的偏差 产品偏差 再现性 稳定性 直线性 （线形性） 测量偏差 群间 偏差 群内 偏差 ◆测量数据的偏差系统图 晶片内 lot内 　　　　　lot间　　　等 ◆测量系统的变动要素（３） ?测量者偏差（幅度变动）① 　?反复性 　　?同一个测量者经过　　　使用同样的测量器 测量同一产品的同一特性时测量值的变动。 　　　　　 　　 　　　 也叫装置器变动　ＥＶ：equipment variation 　?再现性 　　?　　 　　　　　　、使用同样的测量器多次测 量同一产品的同一特性时　　　　的平均值变动。 　也叫测量者变动　ＡＶ：appraiser variation　　　 测量值 分布 反复性 测量者A 再现性 测量者B 问题 ◆测量系统的变动要素（３） ?测量者偏差（幅度变动）① 　?反复性 　　?同一个测量者经过多次使用同样的测量器 测量同一产品的同一特性时测量值的变动。 　 　 也叫装置器变动　ＥＶ：equipment variation 　?再现性 　　?不同测量者使用同样的测量器多次测 量同一产品的同一特性时各测量者的平均值 变动。 　 也叫测量者变动　ＡＶ：appraiser variation　　　 测量值 分布 反复性 测量者A 再现性 测量者B 解答 ◆测量系统的变动要素（４） ?测量者偏差（幅度变动）② 　?反复性（EV）?再现性（AV） 　　　?GRR（gage repeatability reproducibility）　 　　　　　　　　　GRR2　 ＝　　　EV2　　 ＋　　　AV2　 或者　　　σ2GRR ＝　σ2反复性　＋　　σ2再现性　 测量值 分布 EV AV ＋ AV EV EV GRR ＝ ◆测量系统的变动要素（５） ?测量者偏差（幅度变动）②‘ 　　 　?反复性（EV）?再现性（AV） 　　　?GRR（gage repeatability reproducibility）　 　　测量结果变动（TV：total variation、全变动）是 产品的实际变动（PV：part variation、产品变动） 加上测量系统变动（GRR）的结果。公式表示如下。 　　　　　　　　　TV2　＝　PV2　＋　GRR2　　 ◆讲座　　　　　　　　　　 　　?ＭＳＡ指的是。。。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　?ＭＳＡ需要的理由 　　　（包含事例） 　　?测量数据的偏差系统图 　　?测量系统的变动要素 　　?测量系统的评价指标和基准 ◆练习 　　?练习说明　　　　　　　　　　　 　　?练习实施　　　　　　　　　　　　 　　?练习报告　　　　　　　　　　　　 　　?总结（包含答疑） ◆测量系统的评价指标和基准　　 ?总体精度比（Precision/Total） 　此判定为占使用范围整体偏差的测量偏差。目的是判定是否在容许等级内。 　计算公式： 　　　P / Tot = 　　※ 容许的目标是１０％。 ?容许差精度比（Precision/Tolerance） 　　　此判定为产品规格幅度测量上的偏差。目的是判定是否在容许等级内。 　　　计算公式： 　　　　　　ＣＲ　＝　P / Toｌ　= 　　（Capability　Racio） 　　※ 容许的目标是１０％。 １０％以下的话测量系统有效，超过３０％的话就是危险系统。 　　（１０～３０％为灰色地带。） σ