压力传感器基础-入门培训资料.pptVIP

压力传感器基础 ——入门培训(V1.0) 长沙泽天电子科技有限公司 主要内容 5.2 常用压力传感器特性比较 压阻效应： 半导体材料具有各向异性，各个晶向晶面的应变系 数不同。通过半导体工艺在半导体材料上制作出一 个惠斯通电桥，在受到外力以后扩散在半导体上的 电阻值会发生变化。 溅射薄膜压力传感器是利用电阻应变效应工作的， 与传统应变式压力传感器属于同一原理。两者的主 要差别制作工艺上。溅射薄膜压力传感器延用了测 量压力的金属弹性膜片原理，应用离子束溅射和刻 蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜上，由 于没有活动部件，抗震动和抗冲击能力很强，可用 于恶劣的环境。 6.4 陶瓷压阻式压力传感器 陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击合振动的材料。 低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器代替扩散硅压力传感器。 陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥（闭桥），由于厚膜电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的电压信号 6.5 蓝宝石压力传感器 蓝宝石压阻式压力传感器以机械性能高度稳 定的人造蓝宝石为承压材料。其主要特点是 长期稳定性好，温度范围宽（允许介质温度 －196～400℃），抗震动。主要用于介质温 度特别低或特别高的场合及航天、航空和军 事用途。 标准电流输出 二线制4～20mA 三线制0～10mA 标准电压输出 0～5V；1～5V；0.5～4.5V 无线与智能输出 无线 总线智能 压力变送器：压力传感器（芯体）、接头、压环、外壳、调理电路、电器连器、导线等。 螺纹接口： M20×1.5 ；M12×1、74°锥 ； G1/2；G1/4 ； NPT1/2； NPT1/4 R1/2；R1/4等等 液位变送器：压力传感器（芯体） 、液位变送器壳体、调理电路、电缆 投入式，安装时，法兰式，插入式等等 压力传感器 压力变送器 高温压力变送器 智能压力变送器 差压变送器 一体式液位变送器 分体式液位变送器 严禁压力过载 严禁用手指头，镊子、螺丝刀、铁丝等尖而硬的物体接触传感器膜片，这样会造成无法修复性损坏。 拿传感器芯体、变送器时，严禁用手拎着产品上的导线移动产品，这样会损坏导线及产品，必须用手拿住产品的主体部分，方可拿起、移动，并注意拿好，严禁跌落，损坏产品。 严禁敲打，振动、撞击、跌落、避免过大的加速度力造成损坏。 6.2 薄膜压力传感器工作原理 6.3 薄膜传感器与半导体压阻式传感器的比较 7.压力传感器的主要参数 非线性、灵敏度、重复性、迟滞、分辨率、 漂移、稳定性 7.2 术语和定义 7.1 静态特性的主要技术指标有： 量程的计算公式如下： XFS =Xmax-Xmin 式中： XFS ——量程，Pa； Xmax——测量范围上限值，Pa ； Xmin——测量范围下限值，Pa 。 量程（XFS） 满量程输出的计算公式如下： YFS=Ymax-Ymin 式中： YFS ——满量程输出值，V； Ymax——工作特性所决定的最大输出值，V ； Ymin——工作特性所决定的最小输出值，V 。 满量程输出（YFS） 线性的计算公式如下： YFS ×100% (ΔYL)max ξL=± 式中: ξL——线性，% ； (ΔYL)max—— 实际平均特性曲线相对平移端基直线的最大偏差，V 。 线性（ξL） 回差的计算公式如下： YFS ×100% │(ΔYH)max│ ξH= 式中： ξH ——回差，% ； (ΔYH）max——实际正行程平均特性曲线相对实际反行程平均特性曲线的最大偏差，V 。 回差（ξH） 灵敏度采用下式计算： Sv=1000×Yf.S/Ui 式中： Sv —灵敏度，mV/V； Ui — 试验时测得的激励电源电压值，V。 灵敏度（Sv） 计算公式如下： Yf.S ×100% /T │ΔY0│max DO= 式中： DO——零点漂移，%/h (或%/d)； │ΔY0│max——试验时间内的零点输出值的最大差值。 T——试验时间。 零点漂移（DO） 计算公式如下： Yf.S0 ×100% /T │ΔYFS│max DFS= rs——量程漂移，%/h (或%/d)； │ΔY0│max——试验时间内的满量程输出值的最大差值。 量程漂移（DFS） 零点温漂（γ） YFS·（t2-t1） ×100% YO（t2）-yO（t1） γ= 式中： γ——零点温漂，%/℃； t1——试验前的室温温度，℃； t2——