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多晶硅生产氢气回收工艺-稀有金属 1984-03-01 1984年 01期
多晶硅生产氢气回收工艺 ’ 王 能 前 峨帽半导体材料研 究所 。 本文介绍 了用阶梯环填料塔为核心 的工艺流程 , 成功地实现 了还原尾气 的氢气 回收 回收氢 质几符合多晶硅生产 的要求 , 多晶硅 的氢气单耗 由约 米 公斤下 降至 米 “ 公斤 。 每 公斤多 晶硅成本下 降了 元 、 、 。 一 前 百 竺 旦主 一 十 些 在 氢还 原过程 中, 仅有 的氢 , 、 。 气参加反应 接近 的氢气作 为废气放掉 反应 消耗 , 生 成 。 。 , ‘ 了 在 实现氢气 回收前 我所 多晶硅 的氢气 反应 产生 并生 成 还 原尾气
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