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电镀铜工艺专业介绍
振动与摆动 振动与摆动的主要作用是降低diffusion layer的厚度(增大表面张力),赶走孔内的气泡,加速孔内镀液的补充与更新,提升镀件品质。 振幅 200μm 振频 根据实际情况调节,一般振30s停20s 摆幅 5~6cm 摆频 10~12次/分 磷銅陽极的特色 当阳极电流密度0.4-1.5A/dm2时,阳极含磷量与黑膜生成量成线性关系,当含P0.035%-0.0.75%时,阳极铜的利用率最高,泥渣生成量最少。当P含量太低0.005%以下,虽有黑膜生成但是太薄,不足以保护铜阳极,当P含量太高时,黑 膜太厚,阳极溶解不好,阳极 泥渣多,镀液中铜浓度下降,添加剂消耗增加。 阳极袋与阳极膜 阳极袋 1.阳极袋可用PP材质,使用之前要用稀硫酸浸泡一段时间。 2.正常的阳极膜是黑色的,若呈棕色时表示阳极含磷不够,呈银灰色时表示槽液中含氯离子太多而生成了氯化铜。但这只是一般判断,尚须槽液分析辅助。 3.阳极袋的功用在于防止阳极膜的碎屑、碎铜粒掉落槽中,更换频率约为半年一次,但只要发现有破损应立即更换 电镀铜镀层厚度估算方法 电镀铜镀层厚度估算方法 mil 0.0087*电镀阴极电流密度 ASD X 电镀时间 分钟 1 mil 25.4 μm ? 高電流部有针点,潤濕劑 表面活性劑 不足 ? 工作区(3-4cm)和高電流部发雾,光澤不足 高電流部燒焦的寬度(小于1.5cm)較大,金屬成分不足 高电流密度区呈条纹状沉积,整个试片光亮度降低,盐酸不足 + + + + + + + + 燒焦 凹坑 模糊 電流密度 高 低 圖7.2 霍爾槽的板件例子 电镀铜溶液的控制 ? 赫尔槽试验 电镀铜溶液的控制 ? 延展性 — 用不锈钢片在镀槽或延展性测试槽镀上大于2mil 铜片. — 再以130oC把铜片烘2小时. — 用延展性测试机进行测试. 电镀铜溶液的控制 ? 热冲击测试 — 以120oC烘板4小时. — 把板浸入288oC铅锡炉10秒. — 以金相切片方法检查有否铜断裂. ?電鍍液維護 電鍍液会發生成分變化 變質 的。爲了調整、恢複原狀,需要補充藥品。如果有雜質的沉積,就要除掉雜質 再生 ,到了不能使用時就要全量或者部分報廢,更換新鍍液。鍍液的再生采用 1 活性碳處理; 2 弱電解 拖缸 處理等。補充藥品方法有 1 分析補充; 2 耗量補充(根据做板量自动添加)兩種。 电镀铜溶液的控制 PCB电镀铜工艺过程 ? 全板电镀工艺过程 注:一次铜制程前板面不脏的话可以不用酸性清洁 上 料 酸性清洁剂 双水洗 浸 酸 电镀铜 下 料 双水洗 剥挂架 双水洗 上 料 ? 各工序功能 — 酸性清潔劑 ? 除去表面污漬 ? 提高銅面親水性能 — 浸酸 ? 活化待電鍍銅表面并除去铜面氧化 — 電鍍銅 ? 提高孔內及線路銅层厚度,增加導電性能。 — 剝挂架 ? 剝除挂架上鍍上的銅 全板电镀工艺过程 ? 鍍銅層的作用 — 作爲化學鍍銅的加厚鍍層和作爲圖形電鍍的底鍍層。 — 化學鍍銅層一般0.5μm-2 μm,必須經過電鍍銅後才可進行 下一步加工,加厚銅是全板電鍍,厚度一般在5-8 μm。 全板电镀工艺过程 全板电镀工艺过程操作条件 ? 酸性清洁剂--210 —: 酸性清洁剂P20 :4%-6% — 温度 : 35oC 30-40oC — 处理时间 : 5分钟 4-6分钟 全板电镀工艺过程操作条件 ? 浸 酸 — 硫酸 96% : 5%-10% — 温度 : 室温 20-40oC — 处理时间 : 1分钟 0.5-2分钟 全板电镀工艺过程操作条件 ? 电镀铜 — 五水硫酸铜 : 70g/l 60-90g/l — 硫酸 : 200g/L 180-220g/l — 氯离子 : 60ppm 40-80ppm — 镀铜添加剂GT -100 : 14ml/l 整平剂8-20ml/l;光泽 剂0. 1-0.8ml/l — 温度 : 25oC 20-30oC — 处理时间 : 15分钟以上 根据所需厚度及电流密度 * * 电 镀 铜 工 艺 专业介绍 电镀铜工艺 铜的特性 铜,元素符号Cu,原子量63.5,密度8.89克/立方厘米,Cu2+的电化当量1.186克/安时. 铜具有良好的导电性和良好的机械性能. 铜容易活化,能够与其他金属镀层形成良好的金属--金属间键合,从而获得镀层间的良好结合力. 电镀铜工艺的功能 电镀铜工艺 在化学沉铜层上通过电解方法沉积金属铜,以提供足够的导电性/厚度及防止导电电路出现发热和机械缺陷. 电镀铜工艺的功能 电镀铜层的作用 作为孔的化学沉铜层的加厚层,通过全板镀铜达到厚度5-8微米,称为加厚铜. 作为图形电
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