VSJ-300W.S型真空烧结炉操作说明.pdfVIP

VSJ-300W ·S 型真空烧结炉操作规程 一、准备工作 1、开机前接通水源，气源调整至合适状态。 2、检查设备各部分（包括按钮、旋钮开头）正常后， 接通控制电源。 3、检查仪表及显示是否正常。 4、按控温调节器的使用说明书设定工艺曲线。 二、装料 1、机械泵抽真空后，关上炉门开头，待齿圈旋开后， 停机械泵。 2、手动开放气阀，待气压平衡后，开炉门，然后关放 气阀。 3、用料车将工件装到炉床上。 4、手动推合炉门后，将炉门气缸旋钮旋至关闭位置。 三、自动程序操作 1、手动/自动的旋钮旋至自动，并按下自动启动按钮， 此时自动启动按钮灯会点亮，显示设备的操作已进入自动状 态。 2、这时，本设备即可按设定的自动程序工作，完成抽 真空、加热（预先设定加热程序），冷却全过程。具体操作 见《VSJ-300W ·S 型真空烧结炉电控程序说明书》。 3、当风冷结束并报警响铃时，表示自动结束，这时可 1 以将炉门打开取出试料。然后重新装料后，再按“自动启动” 按钮即可。 四、手动程序操作 这是为不同使用条件下设置的操作方式。这时手动/ 自 动开头应在手动位置。 1、抽真空 ⑴当确认炉门和手动隔膜放气阀关闭后，开启机械泵。 ⑵待机械泵运转正常后开启前级阀，五分钟后关闭前级阀， 并开启粗抽阀。 3 3 ⑶当真空度高于是 1X10 Pa （即压强低于1X10 Pa ）时，可以 开启罗茨泵。工作时，如真空度降低，低于 1X103Pa 时，应 及时关闭罗茨泵（设备装有过压保护装置）。 ⑷当真空度高于（或压强低于）50Pa 时，扩散泵预热 60 分 钟后，应先关粗抽阀，然后再开主阀，实现扩散泵的高真空 抽气。 几种情况处理： A：工作过程真空度降低 当低于 50pa 时，关主阀开粗抽阀。当真空度恢复后关 粗抽阀开主阀。 B：抽低真空（粗真空） -1 -1 当工作真空度低于 2X10 pa （即压强高于2X10 pa ）时， 只开机械泵和罗茨泵。这时扩散泵不加热，主阀不开，但要 2 开前级阀。 C：二次抽真空 当连续工作时，一般扩散泵不停（间隔时间不大于 1 小 时），当对炉内充气时，先关主阀和粗抽阀，然后停罗茨泵， 由机械泵作扩散泵前级泵（有维持泵的可以关罗茨泵和前级 泵，开维持泵的前级管路阀）。当第二次抽真空时，操作程 序是：操作程序是：先关前级阀，然后开粗抽阀，当真空度 达到 50Pa 后，开前级阀再开罗茨泵，然后按正常操作。 ⑸停止抽真空 当抽真空停止时，需按顺序先关主阀和粗抽阀，然后停 罗茨泵和扩散泵，当停扩散泵加热电源关闭超过 1 小时 30 分钟（以扩散泵冷却为标准）以后，关前级阀后关机械泵（如 有维持泵，此时须关闭维持泵和维持泵泵管路阀）。 2．1、加热 ⑴本设备加热彩智能温度控制器进行温度调节控制，自 动按预先设定的工艺曲线加热。 ⑵当真空度低于 50Pa 准备加热时，需充入保护性气体 后方可加热。 ⑶加热时，先合上加热主电源开头、温控开头、自动加 热接触器开关。停止加热时，停加热接触器，最后再关主加 热电源及温控开关，并保持充气阀及前级阀处于关闭状态。 提请注意其操作顺序。 3 2．2、充气烧结 在加热过程中可以进行充气烧结。首先，关闭主阀或粗 抽阀，并且机械泵处于开启状态，此时扩散泵应该用维持泵 及维护泵管路阀对其进行抽真空。一