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常用真空计的测量范围及其性能王??逊(北京大学电子学系，北京100871) 摘要：介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。关键词：真空计；测量范围；性能中图分类号：TB771；TNl07??文献标识码：B??文章编号：1002-0322(2004)04-0047-02 1??概述????上世纪80年代有关文件将常用真空计概括为六大类[1]，即热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计。同一年代又出现压敏电阻真空计，现在共有七大类。本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。 2??电离真空计????电离真空计的离子流与压强关系为线性关系，规管测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。????电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。????BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。????DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1 Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1 Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适。在高压强时发射电流应减小。????上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。????同在80年代，有人将敷氧化钇铱丝代替DL-2型规管中的钨丝，做成DL-9型规管[5]，使上限压强扩展一个数量级，测量范围为10-5～1 Pa。在研究吸气剂性能时，应在小发射电流下工作，以减小电离计的吸气效应。在有害气氛下工作用小发射电流可以延长灯丝寿命。 ????电离计的误差为[1]：10-8～10-1 Pa，△=±70％；10-5～10-1 Pa，△=土50％；10-3～10 Pa，△=±50％。????单片机问世后不久，就开始用单片机控制电离真空计[6]。单片机操作代替了原电路中的调零点、调满偏、调发射、换量程等手工操作，并有诸多功能板，例如RS232串口，模拟量输出等可与计算机联机，真空计还可以用单片机设置输出信号。 3??热电偶真空计????上世纪50年代，已有DL-3(ZJ51)型热偶规管生产，它的加热丝是铂金丝，热偶丝是康铜镍铬丝。它在定流模式的特性曲线如图2曲线2所示。上世纪80年代研制出了ZJ53B、ZJ54B等热偶真空规管[7]，它们的加热丝与热偶丝都是康铜镍铬丝，直径比DL-3型规管的丝还细，因此工作压强比DL-3型规管高。它们定流模式的特性曲线如图2曲线1所示。????DL-3型测量范围是10-1～60 Pa，ZJ53B、ZJ54B测量范围是10-1～400 Pa。热偶真空计误差为[8]压强小于5×102Pa时：士20％；压强不小于5×102Pa时：±50％。以上两种热电偶规管，定流工作模式最大热电偶电动势为10 mV，相当于179oC。????定温式热电偶计可扩展上限，例如ZDO-150型定温式热电偶真空计测量范围是1～105 Pa[9]。 4??电阻真空计????电阻真空计工作模式分定压式和定温式。定压式测量范围为1～102Pa，定温式测量范围可扩展到1～105Pa。????图3示出ZJ52T(曲线2)和莱宝公司的TR211(曲线1)规管定温特性曲线。????由图可见，ZJ52T在压强大于1 kPa时，误差就会很大。TR211规管在压强大于10 kPa时，误差会很大。电阻真空计工作温度高，上限压强高，但在高温工作时会影响规管的寿命，一般为110oC较合适，比热电偶真空计工作温度稍低。 5??压敏电阻真空计????上世纪70年代凯勒公司压敏电阻传感器进入市场。80年代我国研制出用压敏电阻做成的HLP-03型低真空计[10]。测量范围是10 Pa～110 kPa。传感器在10～100 Pa之间温度漂移较严重，会给真空计带来很大的误差。压敏电阻真空计精度高，线性好，性能稳定，是结构简单、价格便宜的一种真空计。在要求测量大于100 Pa的场合下，选择压敏