热释电红外探测器阵列的设计、制备电性能与研究.pdfVIP

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2015-11-04 发布于安徽
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热释电红外探测器阵列的设计、制备电性能与研究.pdf

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摘要本文系统的研究了BST薄膜红外探测器阵列的版图设计、制备工艺以及薄膜线列的电学性能。主要研究内容及实验结果如下：膜和Ni／Cr吸收层由8x8个单独的单元组成。呈现多晶钙钛矿相，其晶粒生长均匀，薄膜表面光滑致密。研究了电极的光刻和剥离工艺。经过优化工艺，得到的Pt／Ti底电极、Ni／Cr吸收层和Au上电极图形完整、边缘整齐、表面无残留物。刻蚀而产生的结构损伤，薄膜致密度和表面光洁度提高。采用XPS分析技术对刻蚀前、刻蚀后和刻蚀后退火的BST薄膜表面成分进行分析，和刻蚀前相比，刻蚀后的Ba3d3／2、蚀后600C再退火的薄膜相应光电子峰化学位移变化较小。刻蚀前、刻蚀后和刻蚀后退火 Bao．79Sro．21Til．0203．07。线列的介电性能、铁电性能和漏电流特性。室温条件下，在测试频率为100KHz时，lx8 薄膜线列的漏电流密度为7．07x10_1n／cm2。关键词：钛酸锶钡铁电薄膜；热释电非致冷红外探测器阵列；光刻；剥离；刻蚀 Abstract of ferroelectricthinfilm Thefabrication andelectric BST processes properties uncooledinfrareddetectorare main pyroelectric arrayssystematicallyinvestigated．The as worksand resultsarelistedfollows： experimental Themask ofPt／Tibottom thin electrode，BSTfilm，Ni／Cr figurations absorptionlayer x of88 are andAu electrode anddrawnL-editsoftware．Pt／Tibottom top arraysdesigned by x electrodeandAu electrodeare of l 8linear thinfilmand top composedeight arrays，BST ‘ x Ni／Cr are 88units． absorptionlayerindependent BSTferroelectricfilmsare method．The resultsshow preparedbySol—gel experiment thatBSTthinfilmswith BTseed exhibit presinteredlayer polycrystallineperovskitephase， at700C。 annealing al The andlift-off ofelectrodesestudied．Pt