溶胶凝胶法制备ITO薄膜及其光电性能的研究.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.25万字
约 5页
2015-10-10 发布于重庆
举报
版权申诉

溶胶凝胶法制备ITO薄膜及其光电性能的研究.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

溶胶凝胶法制备ITO薄膜及其光电性能的研究,溶胶凝胶法制备薄膜,溶胶凝胶制备二氧化钛,溶胶凝胶法,溶胶凝胶,溶胶凝胶法原理,溶胶凝胶原理与技术,溶胶和凝胶的区别,柠檬酸溶胶凝胶法,溶胶凝胶法制备氧化锌

33 1 Vol. 33 No. 1 2010 2 Ch inese JournalofE lectron Devices Feb. 2010 Electricaland OpticalProperties of ITO Fiml sPrepared by the Sol2GelM ethod YUAN H ongm ei, LIN Zulun , CHEN Wenbin, WEI Xinying (Sch ool of Op toelect on ic Info ma tion, Un ive sity of E lect on ic ScienceT echnology of Ch ina, Ch engdu 610054, Ch ina ) Abstract: The Indium2tin oxide( ITO) fiml swere prepared on glass substrate using sol2gel dip coatingmethod. The sheet resistance and transm ittance of the ITO fiml sweremeasured by UV2VIS spectrometer and four2probe appara2 tus. The XRD, SEM analysis techn iqueswere used to determ inate the structure and morphology of ITO fiml s. It is 4+ proved that Sn concentration and sintering temperature both have significant influence on the conductance of ITO fiml s, and the sheet resistance is the lowest when sin tering at 450 e with 15% Sn2doped concentration. Increas2 ing the annealing tmi e and fiml layers, the sheet resistance decreases and becom es a constant u ltmi ately with the extension of tmi e, and there is just a small variation in the average visible transm ittance. K ey words: ITO; sol2ge;l sheet resistance; transm ittance EEACC: 0520 - ITO 袁红梅, 林祖伦 , 陈文彬, 韦新颖 (, 610054) : - , ITO , XRDSEM , , Sn 15 % ()450 e ; , , , : ITO; ) ;; : T 304. 055 : A : 1005- 9490(2010) 01- 0005- 05 ITO, 1 In(NO ) # 4 H O() 3 3 2 2 (), SnCl# 5H O () , 4 2 , (), , , ITO [ 1- 3] ITO , [4]