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飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究
第 卷第 期 年 月 39 6 红外与激光工程 2010 12 Vol.39 No.6 Infrared and Laser Engineering Dec.2010 飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究 1 1 2 2 2 姜 涛 ，赵清亮 ，董志伟 ，樊荣伟 ，于 欣 （1. 哈尔滨工业大学 精密工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001 ； 哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐 气体激光技术国家级重点实验室， 黑龙江哈尔滨 ） 2. ( ) 150001 摘 要： 应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料 SiC 的烧蚀机理及其相互作用过程 进行了研究。 分别采用扫描电子显微镜(SEM) 、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析 技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价。 不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向 波纹区和改性区等不同形貌特征，而且对加工阶段进行分离，并求出加工 SiC 时强烧蚀和弱烧蚀的阈 值分别为 0.13 J/cm2 和 0.61 J/cm2 。 根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系，发现 入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数。 关键词： 飞秒激光； SiC ； 烧蚀阈值； 材料去除机理 中图分类号： O439 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2010)06-1044-05 Interaction mechanism of femtosecond laser and wide band -gap material 1 1 2 2 2 JIANG Tao , ZHAO Qing -liang , DONG Zhi -wei , FAN Rong -wei , YU Xin (1. Center for Precision Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China; 2. National Key Laboratory of Tunable Laser Technology, Institute of Optic -Electronic, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) Abstract: The material ablation mechanisms and ablation interacti
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