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表面粗糙度的激光非接触检测方法_郑俊丽
35 3 V ol. 35, N o. 3 2005 3 LA SER INFRAR ED M a rch, 2005 : 100 15078( 2005) 030 14803 郑俊丽, 赵学增, 周莉莉 (, 15000 1) : 表面粗糙度的测量一直面临着提高测量精度抗干扰能力和测量速度的挑 , 针对这 一问题, 本文重点介绍了几种比较完善的激光非接触测量方法的原理和优缺点, 并分析了表面 粗糙度测量技术的发展趋势 : 表面粗糙度 激光 非接触测量 : TN 247 : A N oncontact Surface R oughnessM easurem ent by U sing Laser ZH ENG Junli, ZHAO X u ezeng, ZHOU L ili ( D ept. of M ech a tron ics, H IT, H arbin 15000 1, Ch ina) A b stract: T here are m any ch a llenges in surface roughness m easurem ent, su ch as precision, sp eed and anti jamm ing pe rfo rm ance o f m easurem ent. A mi ing to so lve these problem s, the princ ip les and ch aracter istics o f severa l noncontact laser m easurem ent m ethods o f surface roughness a re introdu ced, and it s deve lopm ent trend is ana lysed. K ey w ords: surface roughness laser noncontac tm easurem ent 1 , 1 , , , , T alysurf, 1nm 1m, 1 , , , , , , , , , / : 3, , 2 , , , , , , , ,
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