第一章 MEMS 概论.pdfVIP

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2015-09-09 发布于上海
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第一章 MEMS 概论.pdf

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第一章 MEMS 概论.pdf

MEMS 技术秦玉香 qinyuxiang@tju.edu.cn 课程主要内容： 第一章 MEMS 概论 第二章 MEMS 材料 第三章 MEMS工艺技术 第四章 MEMS微执行器 第五章 MEMS微传感器 第六章纳米技术与纳米加工第一章MEMS概论 2012-03-22 3 1.1 MEMS的基本概念及其特点 MEMS的定义  MEMS—微电子机械系统--微机电系统  MEMS缩写于20世纪80年代在美国首先使用.  1988年，硅静电马达发表(美国加州大学伯克利分校) 。世界上第一个微静电马达  同期，15名美国科学家向美国政府提出“小机器、大机遇，关于新兴领域-微动力学(微系统)”的建议书  1989年NSF公司研讨会上，“微电子技术应用于电机系统”提法首次出现。自此，MEMS一词逐渐成为一个世界 6 2012-03-22 性的学术用语. 什么是MEMS？  MEMS技术是以微电子、微机械与材料科学为基础，研究、设计、制造具有特定功能的微型装置的一门科学。  MEMS的其它名称：微系统MS 、微动力学、微机器、微机械人  北美微机电系统(MEMS ，micro electro mechanical system) 欧洲微系统（micro system ）日本微机器（micro machine ）。  都以微小（micro ）为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地统称为MEMS。 2012-03-22 9 信息处理单元 MEMS及相关领域  MEMS技术是多学科交叉的新兴领域，融合微电子与精密机械加工技术，利用三维加工技术制造微米或纳米尺度的零件、部件或集光机电于一体，完成一定功能的复杂微细系统，是实现“片上系统”的发展方