Glan-Thompson棱镜四层宽带减反射膜的设计与蒸镀.pdfVIP

第 卷 第 期 曲 阜 师 范 大 学 学 报 $% R.) 2 $% M. 2 年 月 44’ 8 K.=5+*) .? L=?= M.5/*) N+6OP516Q :05 2 44’ !#$!%’()*’$ 棱镜四层宽带减反射膜 的设计与蒸镀! 郝殿中， 吴福全， 彭捍东， 张 剑， 王其国 （曲阜师范大学激光研究所， ，山东省曲阜市） #$%’ 摘要： 棱镜在光学领域有着重要的应用，透过率的高低和有效带宽的大小，直接影响着棱 ()*+!,-./01.+ 镜的品质 为了提高棱镜的透过率，拓宽有效使用带宽，利用薄膜特征矩阵的原理，设计了四层宽带减反射膜 2 系，选用合适的光学薄膜材料，利用电子束蒸镀，借助于离子源辅助蒸镀，制作了高性能的宽带减反射膜2 测 试结果表明：平均剩余反射率小于%3 ，有效使用带宽达$44 +/，达到了设计要求2 关键词： 薄膜光学； ；四层减反射膜；带宽 ()*+!,-./01.+ 0561/ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 7898 28 : %44%!’$$# 44’ 4!448!4$ % 引 言 膜系设计与薄膜材料的选择 随着激光技术和光纤通讯技术的快速发展，偏 设薄膜材料的高折射率为 ，低折射率为 ， # $ ! ! 光技术作为整个应用光学技术领域的一个分支学科 中间折射率为 ，空气为入射介质，折射率为 ， % 4 ! ! ［ ］ 也得到了飞速的发展，其应用范围几乎涉及到所有 整个薄膜系统的特征矩阵为8 F # ： 与光学技术有关的学科领域，尤其是激光偏光器件 ’ ， （）