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E型碳化硅压力传感器的优化设计.pdf
年 月 传 感 技 术 学 报 第 期 2004 12 4 Optimal Design of an E-type SiC Pressure Sensor ， ， ， LIN Wen-giong YANC Yin-tang WANC Jia-you LI Yue-j in （ ， ， ’ ， ） Microelectronics Inst . Xidian Uniuersity Xi an 710071 China Abstract ： The paper describes the theory and simuiation data for a SiC pressure sensor featuring variety of advantag- es due to a novei design . Anaiyticai modeis based on smaii defiection theories were appiied to caicuiate the strain dis- tribution of the sensor . According to the iaw of strain distribution， piezoresistors of the sensor have been optimaiiy de- signed . Some important properties of the sensor were anaiyzed by using ANSYS software . In comparison to famiiiar （ ）， sensor concepts circuiar diaphragm sensor the sensor designed for pressure range of 500kpa exhibits an exceiient ： ： sensitivity S = 24 . 8 V/ V . kpa and noniinearity NL 0 .08% . The simuiation resuits are consistent with the mea- ! surement resuits . ： ； ； ； Key words SiC pressure sensor ANSYS e-type structure E 型碳化硅压力传感器的优化设计 林文琼，杨银堂，汪家友，李跃进 （西安电子科技大学微电子研究所，西安 710071） 摘要： 描述了一种性能优越的 压力传感器的理论和仿真运用基于小扰度的解析模型计算出了这种传感器的应 SiC 变分布。根据应变分布规律优化设计了传感器的力敏电阻。利用ANSYS 软件分析了该传感器的一些重要特性。 与传统的传感器（圆膜传感器）相比，量程为 的该传感器表现出优异的灵敏度（ ）和非线性度 500 kpa
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