激光能量电校准方法及其电校准装置的研究.pdfVIP

6A 第30卷第6A期 计 量 学 报 V01．30，No 2009年12月 ACTAMETROLOGICASINICA December，2009 158．2009．左．031 doi：10．3969／j．issn．1000-1 激光能量电校准方法及电校准装置研究 徐 涛， 于 靖， 樊其明， 邓玉强 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：对基于电替代原理进行量值复现的激光能量计的电校准方法进行了深入研究。在电容储能放电法的基 础上，提出了基于直流电功率积分的电校准方法。基于两种电校准方法研制了相应的电校准装置，实现了相互比 对，提高了激光能量校准的可靠性。 关键词：计量学；激光能量校准；电功率积分；量值复现 中图分类号：TB96 文献标识码：A 文章编号：1000·1158(2009)6A-0116-04 ofLaser ElectricCalibrationMethod Study Energy andElectricCalibrationDevice XU Tao，YUJing，FANQi—ruing，DENGYu—qiang of Institute (National Metrology，Beijing100013，China) methodsoflaser calibrationforthelaser meterofelectricsubstituteisstudied．Electric Abstract：The energy energy forlaser calibrationWSS basedOil method．Twokindsof method powerintegral energy presented energy-storagecapacitor havebeen betweentwoinstrumenmwasrealized． instrumentsforelectriccalibration developed．Comparison Keywords：Metrology；laserenergycalibration；electricpowerintegral；Realization 准，通过不同方式的比对验证电教准装置的可靠性。 1 引 言 2．1电容储能放电法 该方法利用电容储能原理，将电容两端充电，此 激光能量是激光的重要参数，激光能量校准和 1 时电容储能：E=÷c俨。将定量的电容储能注入标 量值复现的准确度关系到许多激光参数测量的精 二 度。我国目前激光能量校准的方法和手段单一，而 准器，对标准器进行电校准，达到量值复现的目的。 校准误差很难从一种方法中准确获得。通过对多种 该方法的关键在于与频率相关的电容值的准确 不同激光能量校准方法的研究，不但可以进一步提