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第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 z} } z(({ ~ 粘附问题研究$ !!# 田文超 贾建援 西安电子科技大学机电工程学院 西安 % ’((’) 摘要 针对 粘附现象 论述了有关粘附问题的研究现状 揭示了粘附的本质和研究范围 介绍了目前研究粘附问题所用 *+*, - - - 的分子动力学 连续介质法 准连续介质法 蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法 并对粘附研究 . . . - 的发展提出了初步展望/ 关键词 微电子机械系统 粘附 分子动力学 #012314567879:2;=!!# ?@ABCADE@F G?@G?@AHI@A % R - [- ]^__]^- ) JKLMMNMOPNQKSQKLTUVKTN WVXVTUYUVZ WV\TU ‘LVUT - ab80:920 c@dCFAeECCf?de?AghiFjkCl FmeECl?DiFde?Dn?Ag?AeEC*+*,oCd?gA eEChiFgiCddFmiCdC@iDEFm [ - de?Dn?Ag?do?dDIddCo ECmC@eIiCFmeECde?Dn?Ag?dDk@i?m?Co @AomFkkFpCojHeEC?AeiFoID?AgFmeEClFkCDIkC - - - R - R oHA@l?D DFAe?AIC lCo?Il @hhiFf?l@e?Ag DFAe?AIC lCo?Il lFAeC D@ikF @Ao A@AF?AoCAe@e?FA A@AF [ D@Ae?kCqCi r7st:u8 *+*, ,e?Dn?Ag *FkCDIkCoHA@l?D 造成废品的重要因素 图 是 实验室拍摄到的 / ’ ,@Ao?@ 引 言 齿轮和凸缘粘附磨损失效的扫描电镜图x’y 图 是 v / z 实验室制造多组悬臂梁时出现粘附失效的扫描 ,@Ao?@ 随着材料尺寸 加工尺寸的日趋减小 微电子机械 电镜图x’y 用于通讯导航领域的微陀螺仪也存在粘附 . -
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