声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则及研究.pdfVIP

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2017-08-13 发布于安徽
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声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则及研究.pdf

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Pt·2 第32卷第4期声学技术 V01．32，No·4 11坚竺!望．．翌坐：苎竺竺兰：：．一．——兰坚兰)旦声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则研究吉小军，范彦平，韩韬，蔡萍 (上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海，200240，jxjl27@sjtu．edu．en) 摘要：中文摘声表面波传感器的性能在很大程度上取决于制作延迟线或谐振器的压电基片。从声表面波压力传感器设计角度出发，系统性的提出了其敏感基片优化选择的基本准则。对各个准则的定义、含义和分析方法进行了详细说明。并以基于硅酸镓镧的声表面波压力传感器优化设计为例，对敏感基片切向进行了分析和优化选择。论文工作对声表面波压力传感器的优化设计具有一定的指导意义。关键诃：声表面波压力传感器；敏感基片；优化选择准则中图分类号：TN65文献标识码：A ofSAW onthe CriterionsfortheSubstrateSelection Research Optimal PressureSensor JI Xiao-jun，FANYan-ping，HANTan，CAIPing University,Shanghai200240,chi加) with in Abstract：TheofSAWsensor onthe subslrate lineOrresonator properties dependspiezoelectricitydelay great basiccriterionshavebeen fortthe selectionofsensitivesubstrateforthe degree．Some proposedsystematicallyoptimal all and havebeen detailedAs ofSAW sensor．The methods design pressure definition，meaningsanalysis explained cutsforSAW sensorbasedon been and example，theoptimal pressure langasite(LGS)haveanalyzedproposed．The workofthishassonic forthe ofSAW sensor． paper guidancemeaningsdesign pressure wnrds：SAW seleetioncriterions Key sensor；Sensitivesubstrate；Optimal pressure