半导体质量控制中的非正态工序能力指数计算模型.pdfVIP

第 2 8 卷 　第 2 期 半 　导 　体 　学 　报 V ol . 2 8 　N o . 2 2007 年 2 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Feb . ,2007 半导体质量控制中的非正态工序能力指数计算模型 王少熙 　贾新章 ( 1 西安电子科技大学微电子学院 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室 , 西安 　7 1007 1) 摘要 : 分析了目前几种主要的非正态工序能力指数计算模型 , 指出其适用范围和不足之处. 根据数据的均值 、标准 偏差 、偏度和峰度四个变量能够体现分布特性 , 结合切比雪夫埃尔米特多项式 , 提出了新的非正态工序能力指数 计算模型 , 该模型能克服数据偏差大时对计算结果的不良影响, 并且其代数计算公式可以简化计算. 实例分析结果 准确有效. 关键词 : 非正态分布; 工序能力指数; 切比雪夫埃尔米特多项式; 质量控制 EEACC : 2570 中图分类号 : TN 405 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2007) μμ U SL - - L SL Cp k = m i n , (2) 1 　引言 3σ 3σ 式中　U SL 和 L SL 分别是工序能力指标的上规范 σ μ 当今的半导体产业中, 产品质量水平已成为客 限和下规范限; 是工艺数据的标准偏差; 是工艺 户购买产品时的决定因素 , 因此生产完全合乎规格 数据的均值; 指数 Cp 仅仅是工序规范范围和工序 的产品是企业所致力的目标. 然而 ,产品在生产制造 数据分布的比值 , 被称为潜在工序能力指数; Cp k 考 过程中常会受到很多因素的影响, 同时还增加了产 虑了规范中心是否和均值在数值上重合 , 因此称为 ( 实际工序能力指数. 品质量特性评估的困难. 工序能力指数 p r ocess ca p a bilit y i n dex) 是一种既方便又有效的工艺质量控 这些定义的工序能力指数是基于三个理论假设 制和产品品质评价工具 , 在产品生产过程中可以评 基础 :第一个假设是所收集的数据是来 自受控的工 价各项性能指标. 通过工序能力指数的分析 , 生产部 艺生产线; 第二个假设是这些来 自受控的工艺线的 门可针对工序能力较差的生产线进行追踪与改善 , 数据是独立的; 第三个假设是收集的数据满足正态 实现对生产工艺线的稳定控制 , 从而提高产品质量 分布. 实际上 , 工业生产尤其是半导体行业包含了很 特性以达到满足客户要求的目的. 多非正态分布的情况 ,特别是半导体生产线. 如果使