利用发射光谱进行常压介质阻挡放电等离子体诊断及其在材料表面改性上的应用.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 1期 光 散 射 学 报 VoI．17 No．1 2005年 4月 CHINESEJOURNALOFLIGHTSCATTERING Apr．2005 文章编号：1004．5929(2005101．0019．03 PlasmaDiagnosticsofDielectricBarrierDischargeat AtmosphericPressurebyEmissionSpectroscopyandIts ApplicationtoSurfaceModificationofM aterials TANGX．L．¨，QIUG．，FENGP．X．，YANY．H．，WAN GL．， YAN Z．R．。SHIY．C． (1．DepartmentofAppliedPhysics，DongHuaUniversity，Shanghai200051， People~RepublicofChina； 2．DepartmentofPhysics，UniversityofPuertoRico，SanJuan， P．R．00931—3343，U．S．A．) Abstract：Thespectrallinesofair，Helium andargonplasmaemi~ionatatmosphericpressure wererecordednadanalyzed．Plasmaparameters，suchaselectrontemperature，weremeasurde ． Thepurposeofthestudyistocontroltheprocessofmaterials’surfacemod ifiactionpromptly． Theexperimentalresultsindicatethatspectraldiagnosishas beenprovde aworkablemethod， naditisgreatimportnacetothediagnosisofdielectricbarrierdischargeatatmosphericpres— Sare． Keywords：Dielcetricbarrierdicsharge(DBD)；Plasmadiagnostics；Emissionspectroscopy； Atmosphericpressure；Surfacemod ifiaction 利用发射光谱进行常压介质阻挡放电等离子体 诊断及其在材料表面改性上的应用 唐晓亮，邱 高，冯贤平2，闫永辉，王 良，严治仁，施芸城 (1．东华大学物理系。上海 200051；2．玻多黎各大学物理系，圣胡安，P．R．00931．3343) 摘 要：使用介质阻挡放电光谱诊断装置，对常压介质阻挡放电在材料改性过程中的等离子体发射光谱进 行测量，记录和比较了空气、氦气和氩气常压介质阻挡放电等离子体发射光谱，并运用氩元素谱线的相对 强度来诊断电子温度等物理参量，以达到对材料表面改性过程的实时监控。工作的结果对常压介质阻挡 放 电及其在材料改性上的应用具有重要的意义。 关键词：介质阻挡放电；等离子体诊断；发射光谱；大气压；表面改性 中图法分类号：O461．2 文献标识码：A DBD ischraacterizedbythepresenceofatleastoneinsulatinglayerincontactwiththedicshargebe— twintwoplanarorcylindricalelectrodesconncetedtoanacpowersupply．Themainadvnatageofthis 收稿 日期：2004．08．01 ·E