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(Transducer and Microsystem Technologies) 2011 30 11
28 传感器与微系统 年第 卷第 期
*
基于AFM 探针的电晕放电研究
1，2 ， 1 ，Juergen Brugger3 ， 1 ， 1，2 ， 1，2
赵 贵 孔德义 陈池来 程玉鹏 李 庄
(1． ， ， 230031 ;
中国科学院合肥智能机械研究所 传感技术国家重点实验室 安徽合肥
2 ． ， 230027 ;3 ． )
中国科学技术大学 安徽合肥 瑞士洛桑联邦理工学院
: ， (AFM)
摘 要 针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式 提出了利用原子力显微镜 探针进行
。 ANSYS AFM ，
电晕放电解吸附的采样方案 运用 软件对 导电探针进行了有限元仿真 电场分析表明间距
100 m 1 kV AFM 0 ． 32 ～ 62 ． 4 V / m ，
μ 加 高压时的 探针周围场强在 μ 间 验证了利用其产生电晕放电的可行
; ， AFM ，
性 通过实验观察了电晕放电现象及其规律 测得了 探针加高压时的伏安特性曲线 为下一步利用
AFM 探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
: ; ; ;ANSYS ;
关键词 原子力显微镜探针 电晕放电 微机电系统 非接触式采样
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中图分类号:TH 702 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2011)11 0028 03
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Research on corona discharge based on AFM probe
ZHAO Gui1，2 ，KONG De-yi1 ，Juergen Brugger3 ，CHEN Chi-lai1 ，CHENG Yu-peng1，2 ，LI Zhuang1，2
(1． State Key Laboratory of Transducer Technology ，Institute of Intell
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