利用光学方法测量薄膜厚度的研究Ξ.pdfVIP

第30卷第1期 Vol.30 No.1 2004 年 1月　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　Jan. 　2004 　　文章编号 :2004 ) 利用光学方法测量薄膜厚度的研究 1 2 2 宋敏 , 李波欣 , 郑亚茹 (1. 大连民族学院机电信息工程系, 大连　116600; 2. 辽宁师范大学物理系, 大连　116029) 摘 　要 : 介绍了测量固体薄膜厚度的光学方法。分析了这些方法的光学原理,对所使用的光源、测量范围、测量精 度、实现的难度以及方法所适用的场合等多种因素进行了比较分析,结果表明:对于厚度在 10～100μm 范围的固体薄膜 而言,激光干涉法是一种简单、易于实现且测量精度较高的方法。 关 键 词 : 光学方法; 薄膜厚度; 测量 中图分类号: 484.5　　　文献标识码 : A Study of optical methods for measuring the thickness of the thin f ilms 1 2 2 SONGMin ,LIBoxin , ZHENGYaru (1. Departmentof Information Engineering,DalianNationalityUniversity,Dalian　116600,China) (2. Departmentof Physics,LiaoningNormal University,Dalian　116029,China) Abstract : Someoptical methodsfor measuringthethicknessof thethinsolidfilmsarepresented. Theopticalprincipleof thesemethodsareanalyzed,andmanymeasuringfactorsarecomparedandanalyzed,suchasthelight sourcesusedinmeasure ment,themeasuringrangeof thickness,theprecision,thedifficultyfor beingappliedandthesituationsfor measurement etc. The resultsshowthatlaserinterferencemethodisasimple,easymethod,whichisof highmeasuringaccuracywiththerangeof μ 10～100 m. Key words : optical method; thicknessof thinfilm; measurement [4,8] 源分为激光测量和白光测量 ,还有的根据承载 1 　引 　言 薄膜的基体情况分为透明基体测量和不透明基体测 对于工业中应用的薄膜,其厚度是一个非常重 [5,6] 量等等 。本文主要对测量固体薄膜厚度的方法 要的参数,它直接关