硅基二氧化硅阵列波导光栅的研究进展.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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硅基二氧化硅阵列波导光栅的研究进展.pdf

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第 20 卷第 3 期半　导　体　光　电 Vol . 20 No. 3 1999 年 6 月 Semiconductor Optoelectronics J une 1999 文章编号 :100 1 - 5868 ( 1999) 03 - 0 159 - 06 硅基二氧化硅阵列波导光栅的研究进展①② 1 1 1 2 欧海燕 ,杨沁清 ,王启明 ,胡雄伟 ( 1. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 ,北京 100083 ;2 . 国家光电子工艺中心 ,北京 100083) ( ) ( ) 摘　要 : 　阵列波导光栅 AW G 是密集波分复用技术的关键器件之一。提高 AW G 器件的性能和拓展 AW G 器件的功能是 AW G 器件发展的两大方向。综述了AW G 的串扰、波长响应展宽和偏振特性的优化措施 , 以及以AW G 为基本器件构成的多种功能模块 ,如 16 路上路/ 下路复用器、多波长环形激光器等。关键词 : 　硅基二氧化硅波导器件　阵列波导光栅　波分复用中图分类号 : 　TN24 　　　文献标识码 : 　A Recent progress in sil icon - based sil ica arrayed - waveguide grating 1 1 1 2 OU Hai - yan , YAN G Qin - qing ,WAN G Qi - ming ,HU Xiong - wei ( 1. State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics , Institute of Semiconductors , Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100083 , China ;2 . National Research Center f or Optoelectronic Technology , Beij ing 100083 , China) ( ) ( ) Abstract : 　Arrayed - waveguide grating AW G is one of t he mo st import ant devices in dense wavelengt h divided multiplexing (WDM) technology . Major work is devoting to imp roving it s perfor mance and extending it s function . In t he p aper measures to imp rove several characteristic p arameter s and AW G - based functional modules are reviewed . The characteristic p arameter s include cro sst alk , wavelengt h resp