高精度纯相位液晶空间光调制器的研究3.pdfVIP

第 25 卷 　第 12 期 光 　学 　学 　报 Vol . 25 ,No . 12 　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　 2005 年 12 月 A C TA O P TICA SIN ICA December , 2005 文章编号 :(2005) 1216825 高精度纯相位液晶空间光调制器的研究 1 ,2 1 1 1 1 1 1 刘永军 　宣 　丽 　胡立发 　曹召良 　李大禹 　穆全全 　鲁兴海 1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 , 长春 130033 2 中国科学院研究生院 , 北京 100039 ( ) 摘要 : 　研制了平行排列液晶空间光调制器 L C SL M 。论述了平行排列液晶相位调制的理论 ,进行了计算模拟 。 对液晶空间光调制器相位调制特性和振幅调制特性进行了测量 ,实验结果表明 ,在整个灰度级范围内是纯相位调 λ 制的空间光调制器 ,并且调制的范围可达到 0. 6 。在 ZYGO 菲佐干涉仪上进行了精度特性的研究 ,得到了非常好 2 λ λ 的结果 ,在 1 cm 的面积上 ,进行了畸变波前的调制 ,其精度峰谷值可达 0. 098 , 均方根值可达 0. 0 17 。在此精度 π 的基础上产生了 相位差的栅结构 ,证明了这种液晶空间光调制器可以很好的进行相位调制 。 关键词 : 　光学器件 ; 空间光调制器 ; 液晶; 平行排列 ; 纯相位 中图分类号 : O753 ; O436 　　　文献标识码 : A I n v e s t i g a t i o n o n t h e L i q u i d Cr y s t a l Sp a t i a l L i g h t M o d u l a t o r w i t h Hi g h P r eci s i o n a n d P u r e P h a s e L iu Yon gj un 1 , 2 　Xuan L i 1 　Hu L if a1 　Cao Zhaolian g1 　L i Dayu 1 1 1 Mu Quan quan 　L u Xin ghai 1 St a t e Key L abor a t or y of Ap p l ied Op t ics , Ch a n gch u n I n st i t u t e of Op t ics , Fi n e Mech a n ic