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第 卷 第 期 光学 精密工程 ! # ! 6378! 938# ! ! !!!!!!!! ’ )*+,-./012+*,*3.4. *.221*. !!!!!!!! 年 月 ! ( 5 5 #$$% : 18#$$% ! ! ! ! ( 文章编号 ! !$$;#= #$$%$#;$!U;$T ! 一种中小口径非球面元件数控抛光技术 ! !# ! ! 薛栋林 !张忠玉 !张学军 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学技术研究中心!吉林 长春 # !8 !$$ 中国科学院 研究生院!北京 $ #8 !$$$ 摘要!基于自主设计研制的 型非球面数控加工中心#针对口径 凸非球面透镜!曲率半 RS@A; !$UJJ 1 径 # #研究了非球面粗抛光工艺$精抛光工艺$抛光设备$磨料以及相关工艺参数#提 CX!UJJ OXW 出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术#实现了中小口径非球面元件的数控 快速精密铣磨成型#且保证了光学零件具有较高的面形精度%抛光后元件面形精度达到 ! $ $8$/06 ! ! %满足了在光学系统中使用非球面零件#明显改善像质#提高光学特 $8$#U ^QS X$8#U J / / , 性#减少光学零件数目#从而简化系统结构#减小系统体积#减轻系统质量的目的% 关 键 词!非球面透镜!轮式抛光技术!面形精度 ! ! 中图分类号! 文献标识码! [a!T!8U : !! O(4 5$0(%())$3 ()#+J#% $0J%()( . . 2 2* ,(4#33)$(+4’))’+J$#0)$%+ . #
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