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无尘室及空调设计施工规范.txt用快乐去奔跑,用心去倾听,用思维去发展,用努力去奋斗,用目标去衡量,用爱去生活。钱多钱少,常有就好!人老人少,健康就好!家贫家富,和睦就好。 本文由yunflame贡献 doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。 无尘室一般空调﹙ 无尘室一般空调﹙C/R HVAC﹚系统 ﹚ 设计施工规范书 设计施工规范书 1.一般说明 1.0 一般说明 1.1 设计说明 1.2.工程范围 1.3.法规与标准 1.4.文件图说 1.5.适用条件 2.产品/材料说明 2.0 一般说明 2.1 设计说明 2.2.工程范围 2.3.法规与标准 2.4.文件图说 2.5.适用条件 3.施工说明 3.0 一般说明 3.1 设计说明 3.2.工程范围 3.3.法规与标准 3.4.文件图说 3.5.适用条件 1.1. 设计说明: 3 1.1.1.设计说明: 洁净室环境必须保持精密而稳定的控制,使晶源制程不受环境的干扰。在不同的气候区, 外气条件差异甚大,外气空调箱的设计调整洁净室空气质量。不同的天气季节,外气空调箱 各 单元所需要的设计容量符合全年气候变化。设计出最佳的外气空调箱设计型式。 洁净室的 环境 主要以 DRY COIL 控制温度与 MAU 控制湿度,亦控制其它如静电、气状污染物污染因子。洁 净室内 的温、湿度条件一年四季均维持固定, 洁净室温度设定值为 22±2℃,相对湿度为 50 %RH±5。 建厂的规划。广东地区的气候条件差异甚大。气温夏季为 38℃,最冷的天气大约是 7℃;在 这种 状况下,洁净室要保持固定的温、湿度,外气空调箱的设计必须随着气候区的不同而调整。 然 而, 夏天通常为高温、 高湿的气候, 冬天则通常是低温与低湿的气候条件。 外气空调箱(MAU) 主 要的功能,就是克服外在环境的变化,使进气可以调整到符合洁净室规格后,补充洁净室新 鲜 而质量稳定的进气。外气空调箱主要由除湿盘管、加热盘管、加湿器、风车与滤网所组成。 当 外气湿度高于洁净室需求时, 除湿盘管将外气温度降到露点而达到除湿目的; 除湿后空气温 度 约 8~9℃,低于洁净室的需求,再热盘管将温度提升到符合洁净室进气标准后送进洁净室 的回 风区。当冬季外气条件低于洁净室需求时,加热盘管将进气温度提升,而加湿器则补充不足 的 湿度。本洁净室以 MAU+DRY、COIL+FFU 组合。 1.1.1.1.室外 1.1.1.1.1.空调系统负荷计算参数及分析 室内热负荷计算参数基准设定值夏季空气设计条件:干球温度:36.9℃、湿球温度: 31.5℃。 夏季平均室外风速及风向:2.5m/s、SW 或 NE。 冬季空调设计条件:干球温度:5℃、相对湿度:70% 冬季平均室外风速及风向:3.2m/s、NE 冷却水塔设计湿度球温度:29℃ 1.1.1.2.系统说明 1.1.1.2.1.水系统分类 1.1.1.2.1.1.冷却水系统:32℃~37℃。 1.1.1.2.1.2.冰水系统:6℃~13℃。 1.1.1.2.1.3.Dry Coil 系统:13℃~18℃。 1.1.1.2.2.冷却水系统设置说明 冷却水塔设于动力房屋外架高,采用方型低噪音冷却水塔减少噪音及振动产生, 以达相关法规定。配合冰水主机分期设置,采购 3 台(2+1)1200RT 冷却水塔,即 可符合全建筑之需求。 1.1.1.2.3.冰水系统设置说明 1.1.1.3.本期工程 4 全系统总量为 1000RT *2,并备用一 1000RT 之空间作为未来冰水主机扩充使用。如此可 符合本期之需求及机房空间最小使用量,且因运转容量约为 0.9,此效率较全载运转用电更 为 节省(二台使用一台备用)。 热负荷: 如表附后 1.1.1.3.1.冰水侧为 V W V 可变流量系统,多组区域冰水皆设压力传感器及温度感知器, 经中央监控可分区计算各区空调使用量。 1.1.1.3.2.各台空调箱机组设置冰水控制阀,可依各区室内负荷调整冰水量,维持室内温 度条件及节约能源。 1.1.1.3.3.冰水系统约分为 4 大系统: 1.1.1.3.3.1.MAU 及机房空间空调。 1.1.1.3.3.2.办公区空调。 1.1.1.3.3.3Dry Coil System。 1.1.1.3.3.4.制程冷却水系统。 1.1.1.3.4.冰水机房配置(一期) : 1.1.1.3.4.1.空调冰水主机 1000RT×2 台( 1000RT+1 备用) 1.1.1.3.4.2.冷却水塔 1200RT×2 台(1200RT+1 备用) 1.1.1.3.4.3.冷却水泵浦 12000LPM×2 台(12000LPM+
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