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电子级四氟化硅标准修订发展报告

摘要

本报告旨在阐述电子级四氟化硅标准修订项目的立项目的、意义、范围及主要技术内容。电子级四氟化硅作为电子和半导体行业的关键基础材料，广泛应用于蚀刻、掺杂和沉积等工艺。随着技术进步和市场需求的变化，现行国家标准（GB/T31058-2014）已无法满足现代产业要求，亟需修订。通过更新标准，将提升四氟化硅的生产和检测水平，保障下游半导体产业的质量需求，推动我国高端电子材料自给能力，服务国家战略发展。报告详细说明了修订范围、技术内容及预期影响，强调其对行业标准化和产业升级的促进作用。

要点列表

-电子级四氟化硅是电子和半导体行业的重要特气，用于蚀刻、掺杂和沉积等关键工艺。

-现行国家标准（GB/T31058-2014）已执行近10年，技术内容滞后，需修订以适应产业进步。

-修订目的包括提高标准适用性、强化质量保障、推动国产高端材料自给和产业升级。

-修订范围涵盖技术要求、采样、试验方法、包装、运输、贮存及安全信息等方面。

-主要技术内容涉及纯度计算、检验规则、标签和随行文件等更新，确保标准与行业需求同步。

-该项目符合国家“十四五”规划和新材料发展政策，支持制造业高端化和电子化工新材料创新。

目的意义

电子级四氟化硅是电子和半导体行业中不可或缺的电子特气，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，同时还可用于制备电子级硅烷或多晶硅。作为用量大、纯度要求高的基础材料，其发展受到国家政策的大力支持，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中关于制造业高端化材料标准的要求，以及《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》中电子化工新材料的“特种气体”类别。随着电子和半导体技术的飞速发展，对电子级四氟化硅的质量提出了更高要求，而现行标准（GB/T31058-2014）已实施近10年，其适用范围、技术要求及试验方法等内容均显滞后，无法满足现代集成电路产业的严苛需求。因此，修订该标准具有紧迫性和必要性。通过标准更新，将为生产和检测提供科学指导，确保四氟化硅产品的质量稳定性，从而为下游半导体产业的发展提供坚实保障。此外，这一修订有助于提升我国高端电子材料的自给能力，推动电子相关产业的技术进步，扩大高纯电子材料的国际影响力，有效服务于国家战略需求，促进经济高质量发展。

结论

电子级四氟化硅标准修订项目是响应国家政策、适应技术进步和市场变化的重要举措。通过更新标准内容，包括范围、技术要求、试验方法、包装运输和安全信息等，将显著提升标准的适用性和先进性。这不仅有助于规范生产和检测流程，保障半导体产业的质量需求，还将推动我国电子材料产业的自主创新和国际化发展。建议尽快推进该标准的修订工作，以支持电子和半导体行业的持续进步，实现国家在高端制造业领域的战略目标。