洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求.pdfVIP

洁净室及相关受控环境微振动控制

技术要求（征求意见稿）编制说明

（一）工作简况，包括任务来源、制定背景、起草过程等

1.1任务来源及制定背景

根据国家标准化管理委员会2024年7月25日下达的“国家标准化管理委员

会关于下达2024年第五批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知”

（国标委发〔2024〕32号），全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

（SAC/TC319）组织成立了《洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求》（计

划编号T-469）国家标准的编制工作组。编制工作组严格按照国家标

准制定工作程序开展工作，对标准草案进行了认真的讨论、修改，形成了本标准

的征求意见稿。

1.2起草过程

编制工作组于2024年7月至2024年12月，调研了电子、航空航天、医疗

等行业洁净室用户，与行业资深专家多次深入咨询、讨论，对洁净室及相关受控

环境微振动控制涉及的振源危害、典型精密设备容许振动限值以及微振动控制的

方法、区域、措施、检测、监测等进行了全面梳理和归纳，提出了微振动控制相

关要求。

2024年12月19日，编制工作组邀请国标委、各参编单位召开标准编制启

动会。会上编制工作组汇报了编制思路、技术路线、标准草案等内容，充分征求

各参编单位意见，讨论并形成了分工与编制计划。

2025年6月19日，编制工作组邀请国标委、各参编单位召开标准编制第二

次工作会议。会上编制工作组汇报了标准草案修改稿，经过充分讨论，确定了下

一步的修改内容和分工。

2025年9月，编制工作组在多次讨论基础上，对标准草案进行修改，形成

了标准征求意见稿。

（二）国家标准编制原则、主要内容及其确定依据，修订

国家标准时，还包括修订前后技术内容的对比

2.1编制原则

在标准编制过程中，充分考虑洁净室功能、规模、系统特点、工艺和使用要

求、占用状态、现场条件等因素，综合微振动控制对洁净室的影响、洁净室对微

振动控制的影响两方面，提出了洁净室及相关受控环境的微振动控制技术要求，

包括微振动控制的方法、区域、措施、检测、监测等。

标准编制时，遵循规范化、先进性、适用性、协调性、广泛性等原则，采用

规范化标准用语，兼顾技术要求的先进性和实用性，与相关的国家、行业的法规、

标准、规范、规程相协调，提出的技术要求可广泛用于各行业洁净室。

2.2主要内容及其确定依据

本标准主要内容如下：

（1）规定了标准适用范围：适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。

（2）术语和定义：

定义了本标准相关的微振动、微振动控制、容许振动限值、主动隔振措施、

被动隔振措施、隔振器、隔振装置、隔振系统、洁净室结构等。

（3）振源、危害及影响：

通过对各行业洁净室的广泛调研，提出了振源类型、振源对洁净室及相关受

控环境的危害和影响。

（4）微振动控制：

通过对各行业洁净室的广泛调研和大量工程实践，提出了微振动控制要求的

确定原则，洁净室结构、动力设备和管道、精密设备的微振动控制方法和控制措

施，洁净室微振动检测和监测要求。

（5）作业要求：

通过对各行业洁净室的广泛调研和大量工程实践，聚焦洁净室微振动控制

技术，对作业人员的着装和行为规范、材料、作业等提出了相关要求。

（6）典型精密设备容许振动限值：

通过对各行业洁净室内精密设备微振动控制要求的广泛调研，提出了典型精

密设备的容许振动限值，供洁净室使用方、设计方、建设方参考。

（三）试验验证的分析、综述报告，技术经济论证，预期

的经济效益、社会效益和生态效益

洁净室内生产、测量、实验用精密设备，大多对微振动环境有要求。当环境

振动较大时，将导致加工、测量精度降低以及运行稳定性，严重的影响精密设备

使用寿命。

标准编制过程中，编制组调研了电子工业、航空航天、医疗等几十个洁净室

的微振动环境，包括京东方、长鑫（集电）、长江存储等二十余个平板显示、半

导体的电子工业洁净室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学

院西安光学精密机械研究所、上海微小卫星工程中心、北京卫星环境工程研究所、

天津航天机电设备研究所等十几个航空航天洁净实验室，首都医科大学附属北京

康复医院、北京小汤山医院、北京市回民医院、绵竹市人民医院等十几家医院的

洁净室，统计了各种精密设备的微振动控制要求、控制方法、