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2025年中国电子特种气体数据监测研究报告.docx

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    2025年中国电子特种气体数据监测研究报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u28187摘要 3

    31167一、电子特种气体产业底层逻辑与结构性演进机制 4

    81741.1从半导体制造工艺迭代看气体需求的内生驱动机制 4

    48631.2国产替代进程中的技术-产能-认证三角耦合关系解析 6

    15711.3高纯度气体供应链安全阈值的动态演化路径 9

    4129二、核心气体品类的技术壁垒与纯化机理深度拆解 12

    119302.1蚀刻类气体（如CF?、SF?）分子级纯化工艺瓶颈与突破点 12

    106952.2沉积类前驱体气体（如TEOS、TMB

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