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光刻工职业健康及安全操作规程

文件名称：光刻工职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于从事光刻工艺的工程师及相关工作人员。规程旨在确保员工在光刻作业过程中的人身安全和健康，预防事故发生。要求所有人员严格遵守本规程，提高安全意识，确保工作环境安全，保障企业生产秩序。

二、操作前的准备

1.防护措施：

a.操作人员应穿戴合适的个人防护装备，包括防尘口罩、防护眼镜、防静电手套和防护服。

b.进入光刻室前，应佩戴耳塞以减少噪音污染对听力的影响。

c.操作过程中，不得佩戴饰品，如手表、戒指、项链等，以防设备损坏或人员受伤。

2.设备状态确认：

a.检查光刻机各部件是否完好，包括光学系统、机械结构、控制系统等。

b.确认设备电源、气源、液源等是否正常，并进行必要的预热。

c.检查设备运行参数是否与工艺要求相符，如曝光时间、光圈大小等。

3.环境检查：

a.确认光刻室温度、湿度、洁净度等环境参数符合工艺要求。

b.检查室内通风设备是否正常工作，确保空气流通，降低有害气体浓度。

c.检查地面、桌面等是否清洁，无杂物，防止滑倒或误操作。

4.工艺文件审查：

a.仔细阅读并理解工艺文件，确保操作步骤正确无误。

b.核对工艺参数，确保与设备设定值一致。

c.了解工艺变更情况，必要时与工艺工程师沟通确认。

5.原材料准备：

a.检查光刻胶、光阻剂等原材料的质量，确保符合工艺要求。

b.确认原材料存储条件，避免因存储不当导致性能下降。

c.检查原材料包装是否完好，防止污染。

6.安全检查：

a.检查紧急停止按钮、消防器材等安全设施是否处于正常状态。

b.确认操作区域无安全隐患，如电线裸露、地面湿滑等。

c.对操作人员进行安全培训，确保其了解紧急情况下的应对措施。

7.人员准备：

a.操作人员应熟悉光刻工艺流程，掌握相关设备操作技能。

b.人员应具备良好的团队协作精神，确保操作过程中信息畅通。

c.操作人员应保持良好的精神状态，避免因疲劳导致操作失误。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行环境检查，确保光刻室温度、湿度、洁净度等符合要求。

b.穿戴好个人防护装备，进入光刻室前需佩戴防尘口罩、防护眼镜、防静电手套和防护服。

c.检查并预热光刻机，确认设备电源、气源、液源等正常。

d.检查工艺文件，核对工艺参数，了解工艺变更情况。

e.准备光刻胶、光阻剂等原材料，检查其质量、存储条件和包装。

f.将光刻胶均匀涂抹在晶圆上，确保厚度均匀，无气泡。

g.将涂好光刻胶的晶圆放置在光刻机上，调整晶圆位置，确保其对准。

h.启动光刻机，开始曝光过程，根据工艺要求设置曝光时间。

i.曝光完成后，关闭光刻机，取出晶圆，进行显影处理。

j.显影完成后，检查光刻效果，确保光刻图案清晰。

2.作业方式：

a.操作过程中，应严格按照工艺要求进行，不得随意更改参数。

b.在操作过程中，保持专注，密切观察设备运行状态。

c.发现异常情况，立即停止操作，报告给上级领导，采取相应措施处理。

d.操作过程中，确保设备、晶圆、原材料等清洁，防止污染。

3.异常处置：

a.若发现设备故障，立即停止操作，按设备操作手册进行故障排除。

b.若光刻胶、光阻剂等原材料出现问题，立即停止使用，查找原因，报告给相关部门。

c.若操作过程中出现安全隐患，立即采取措施排除，确保人员安全。

d.若发现操作错误，立即纠正，防止造成更大的损失。

4.结束操作：

a.操作完成后，关闭光刻机，清洁操作区域。

b.整理并回收光刻胶、光阻剂等原材料，确保存储环境符合要求。

c.填写操作记录，记录操作过程、设备状态、原材料使用情况等。

d.离开光刻室前，确保所有设备处于安全状态，关闭门窗。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动和噪音。

b.供电系统稳定，电压、电流等参数在正常范围内。

c.气源、液源供应充足，压力稳定。

d.设备控制系统运行正常，无故障报警。

e.光学系统无尘污，光斑形状和大小符合要求。

f.机械臂运行顺畅，无卡滞现象。

g.环境控制系统工作正常，温度、湿度、洁净度等参数在规定范围内。

2.异常现象识别：

a.设备出现振动、噪音增加、温度异常等现象。

b.供电系统出现电压波动、电流异常等现象。

c.气源、液源压力不稳定或流量不足。

d.控制系统显示故障代码或异常警告。

e.光学系统出现光斑不均匀、偏移、暗淡等现象。

f.机械臂运行出现卡滞、抖